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为了校准装置的后续发展，具备更多功能，要保证装置具有拓展功能接口。研发人员采用在装置中预留通用真空接口的方式，方便后续产品组合，拓展新的功能，如拓展漏孔校准、检漏等功能。通过真空事业部多年来的不断攻坚克难，大胆创新，目前研制成功的便携式真空计校准装置在设备外观、客户界面及操作使用上更加美观合理，具备体积小、易携带，不受环境、空间等因素影响，随时随地都可进行校准使用，

同时还具备拓展功能接口，便于拓展漏孔校准、检漏等功能，解决了长期以来真空校准装置笨重无法携带到现场只能在实验室校准的技术难题，实现了现场真空计的准确校准。使用便携式真空计校准装置“小尺子”都出现在什么地方？便携式真空计校准装置自研制代至今，近几年来，产品得到国内外30多家单位的应用。

“小尺子”发挥着“大作用”，在嫦娥系列月球探测器、火星探测器、空间站、北斗导航等重大航天型号任务的研制试验及发射中得到了极大应用；在芯片、行波管、高大上电气、真空器件、高精度时钟、电池等生产过程/生产设备的定期校准中也发挥着重要作用；同时，在航空发动机、火箭、等的试验与生产，特种钢材冶炼、高纯度气体制备、装备生产现场都曾出现便携式真空计校准装置的小身影。

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当压力降至102Pa时，热偶电势E开始增大，这是由于此时气体传导走的热量减少，热丝温度已升高。当压力p继续降低时，热偶电势继续增大，但是越来越缓慢， 很后趋于一定值。此后，p再降低，E不再变化，即热偶真空计已达到其测量极限，这个极限为其测量下限，约为10-1Pa。为了使用上的方便，通常按照p—E校准曲线将毫伏计的刻度改成真空度。用这样刻度的真空计测量时，可直接读出真空度，再也不需要根据测得的p-E校准曲线查被测真空度。

气体种类对热偶真空计的影响热偶真空计对不同气体的测量结果是不同的，这是由于不同气体分子的导热系数不同引起的。但各种气体的p-E校准曲线形状都类同，因此，在测量不同气体的压力时，可根据干燥空气(或氮气)刻度的压力读数，再乘以相应的被测气体相对灵敏度，就可得到该气体的实际压力，即通常以干燥空气(或氮气)的相对灵敏度为1，其他一些常用的气体和蒸气的相对灵敏度如表4-2所示。相对灵敏度表明了气体热传导的性质。

对于气体分子中具有相同原子数的气体或蒸气，其相对灵敏度Sr随分子量的增大而增大。表4-2一些气体与蒸气的相对灵敏度四、热偶规管加热电流的确定由于制造热偶规管所用的材料及工艺等原因，每个规管的加热电流均不相同；在使用过程中也会因规管“老化”使得加热电流变大；此外，不同测量范围的加热电流也有差异。因此，在使用热偶计时，应按不同的量程确定规管的加热电流。

真空计，又叫真空规。

半导体行业中，难以避免的使用真空计，主要是用于测量某一个腔室或是管路中的气体压强。

是什麽？能干什么？如何使用？

1，是什麽？真空计，字面意思，计量检定真空度的仪器设备。

2，能干什么？真空计关键用于测量真空，或是叫测量气体压强尺寸。腔室里边汽体多，压力大，气体压强大，真空计表明的标值就大；相反，真空计表明的标值小。

3，如何使用？一般便是把真空计的物理性插口，KF接口或是是外螺纹插口收到腔室上，随后把真空计的电气设备插口收到电脑上或是型的数显仪表上。那样就可以测量腔室的真空度，也可以见到真空度实际的数据了。

真空计的种类及基本原理

真空计（VacuumGauge）,又被称为真空规，是测量真空度或标准气压的仪器设备。一般利用不一样标准气压下的某类物理学效用的变动开展标准气压的测量。在科学研究和工业制造中普遍应用。依照真空计测量基本原理所利用的差异的物理学体制，可将具体的真空计分成三大类，分别是利用物理性能，利用汽体动力学模型和利用自由电子作用的真空计。

伴随着人工智能技术及其物联网技术的发展趋势，inficon电容塑料薄膜真空计的运用范畴早已从航天航空等高技术行业向通俗化行业扩展，这促使其需要量增大，类型大量，充分考虑销售市场的产品研发经济成本，产品研发和设计方案能达到不一样种类的inficon电容塑料薄膜真空计的电路是下面inficon电容塑料薄膜真空计细微电容测量电路的具体发展前景。

上世纪50时代，D.J.Pacey科学研究用石英晶振测量气体压强。他选用双三级管（整流管）做电路，其一侧与晶振组成Pierce-Miller震荡器，晶振放置被测汽体中作气体压强感应器。当气体压强转变时，阳极氧化电流量也随着转变。据悉该仪器设备能测105Pa到13.3Pa的气体压强。

中国在90时代也有些人研发了石英真空计，常用电路是以晶振自身为頻率液压控制系统的自震荡，自电路。测量范围为0.1Pa~2×105Pa。非常近大家研发的DL-10A型石英真空计选用FC135晶振，测量范围为5×10-1~105Pa。现阶段已经有石英真空计商品，例如：CC-10真空计测量范围是1.33×10-2Pa到大气压力，M-320XG晶振真空计测量范围是1X10-1Pa到大气压，DL-10A型石英真空计测量范围是5X10-1Pa到大气压力。其特点为：感应器体型小，耗电量输出功率小（约1W），精密度较高（约10%），测量范围较宽（10-1~105Pa）等。