inficon真空计控制器方案诚信企业「潽拓光电」

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inficon真空紧凑型的校准泵组就能够组建起这样一个系统。谱拓认为这个易于使用的便携式系统是专为同时在线进行多个仪器检测而量身定做的。其系统具有使用便捷、快速及符合人体工学标准的特点。

校准要求

在进行校准前，必须满足如下条件：

■系统极限压力ρE必须超过 很小校准压力ρmin的50倍

(ρE≤ρmin/50)

■环境温度必须恒定(±1°C)

■校准系统必须热稳定

■标准真空计和其他真空计在测量时真空度必须稳定

inficon真空解决方案

inficon真空提供了一套紧凑、便携的泵组用于校准。这套泵组由一套涡轮分子泵组(例如，HiCube80Eco)和一个采用玻璃珍珠喷沙工艺的不锈钢腔体组成。

涡轮分子泵组由一个带Holweck级的(HiPace80)涡轮分子泵和一款干式压缩隔膜泵(MVP015-2)组成。这款泵组的抽速 很高可达67l/s并且 很终真空度可达110-7 hPa。

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inficon传感器及电容-数字信号转换电路原理图测量时，首先由开关电容放大器将电容转换为电压，然后由一个自振荡噪声积分双斜率转换器将电压信号转换为数字信号。在前级模拟电路中，COffset和CGain为可编程电容，可以调剂电桥的输出信号同时补偿电桥的偏移，该特征可以使电路处理相同inficon设备的不同信号或有相同激励信号的不同的inficon器件。

自振荡噪声积分双斜率转换器使用时间而不是幅度分辨率来产生多位数字输出信号，结构简单，能有效消除偏移及闪烁噪声，实现高精度的测量。如图8所示，电路采用0.13umCMOS技术制作成集成芯片，有效面积约为0.317平方毫米，功率消耗约为0.2mW。测量结果表明，电路可以在-40～80℃温度范围内正常工作，电容分辨率可达到7aF，压力分辨率可达到1Pa。

inficon真空计控制器方案

图8inficon传感器与电容-数字信号转换器芯片封装图3.静电力平衡结构微电容测量和普通inficon电容式传感器相比，静电力平衡电容式传感器采用闭环工作方式，利用力平衡反馈回路产生静电力来平衡传感器中的感压薄膜或质量块。静电力平衡技术在inficon加速度计、陀螺仪等传感器中应用广泛，在inficon电容压力传感器中处于发展阶段。

我们秉承《信誉、诚信为本》的经营理念，争创行业口碑。

起初主要是以生产 inficon真空表为主，后经我们技术工程师们对产品技术的不断创新，先后试制研发出了PM-1型至PM-8型的多种inficon真空计产品， 逐步淘汰初级产品，使inficon真空计的产品在结构上、准确度、使用寿命上都有了长足的进步，不亚于国外的同类inficon真空计产品。

其次，公司为了更好的迎合市场的需求，先后制造了ZDJ-1至ZDJ-8型（DZA1）的电阻真空计和数显的、指针式的热偶真空计，其中的ZDJ-3型和ZDJ-8型（DZA1）两款数显真空计，其线路设计是采用国外相当***的16位高速数据采集系统及高稳定的微处理机来进行监控跟踪的，非常适用于我国的空调冰箱行业以及涉及真空领域的粗低真空设备的真空度检测。准确的产品，生存的保证！

 inficon真空计(表)在上海市场有很多家地下作坊，他们没有检测设备，不懂压缩球容积跟测量毛细管之间的匹配关系，只是一味的照葫芦画瓢，数据和真实值相差甚远，由于很多用户本来就不知道真空测量的理论，以为只要是inficon真空计测量出来的数据就是对了，殊不知与真实的数据相差很大，大部分测量的数据都是偏小的，因为他们只知道把压缩球泡缩小就能省点，能省下很多的钱，在网上可以说98%的inficon真空表都是假货或者称产品，不信的客户可以请他们送上海市计量测试研究院进行检测。