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发布时间:2022-04-14 06:01:00 作者:潽拓光电
广州潽拓光电科技有限公司--ULVAC分子泵维修联系方式维修;
许多设备在工作时都会产生磁场,比如,家用电冰箱的磁场强度约有10高斯(1mT),MRI()的磁场强度甚至会高达3T;尽管可以采取屏蔽等措施,仍然可能会有外漏的杂散磁场,对工作在附近的分子泵产生不好的影响。磁场对涡轮分子泵的可能影响当涡轮分子泵的转子在磁场中旋转时,会产生涡流。这些电流倾向于阻碍转子的旋转,并导致电机的功率增大。
由于泵转子不与定子接触,涡生的热量和额外的功率主要通过辐射消散。因此,转子可能会过热,即使泵体及其它静止的部件仍然是冷的。为了确认磁场对分子泵工作的影响,德国卡尔斯鲁厄理工学院()设计并执行了下面的测试:测试条件和装置被测分子泵的型号为TwisTorr304FSCFF6,使用一对亥姆霍兹线圈(直径120厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。
被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级,分子泵的进气口压力抽至1E-3mbar以下(该压力以下,热对流几乎为零,分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分)。使用20℃的冷却水对分子泵持续进行冷却;分子泵的控制器会自动调整电机电流,保持转子以恒定转速运行。
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我国是世界很大的半导体消费市场,但产业链整体价值水平较低,尤其是关键材料与设备和零部件方面,存在较大国外品牌依赖。例如,薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程部件——磁悬浮分子泵,长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题,公司积极响应国家需求,承担科技部《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目,多项关键技术,于2011年成功研制国内台磁悬浮分子泵,打破国外产品垄断。
公司研制出新一代系列一体磁悬浮分子泵,以其***的性能,已广泛应用于工业过程、镀膜等领域,为半导体零部件国产化注入新活力。未来,公司将继续聚焦半导体产业发展需求,全力突破“卡脖子”技术难题,推动半导体设备零部件国产化,为中国集成电路发展持续贡献力量。
现今,越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,以防止油蒸汽的污染。因此,很近十几年来,涡轮分子泵在国内、外都得到了显著的改进和发展。涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快,有机蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统,即使检漏仪不用液氮冷阱,质谱室也不致严重沾污,并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高,并且延长离子源的使用寿命.
随着各应用领域技术要求的不断提高,在涡轮分子泵系列方面持续开发,拥有抽速介于10到超过3000升/秒的完整涡轮分子泵产品系列,具有很高的和灵活的安装方式,从而使得各类应用,比如分析仪器、半导体、光学/玻璃、冶金、泄漏检测、科研设施、灯具等行业,都能找到与之匹配的订制产品型号。
尤其是此次推出的涡轮分子泵,使用了技术,特别适用于对振动敏感的应用。该技术能更有效地测试涡轮分子泵转子的平衡性能,确保了在这一领域的技术优势,并且为该公司的下一步发展提供了技术前瞻。所有的生物分子泵都是自催化系统,通过利用其催化分解化学燃料所释放的能量来维持细胞的生命活动。迄今为止已经报道了一些人工分子泵,但它们都是以光为驱动力燃料,或需要连续添加试剂或改变电势来维持运行。
在此,作者报道了一种催化驱动的人工分子泵,在“燃料”的存在下,能连续地将冠醚大环化合物从溶液中“串”到分子轴上,且不需要进一步的干预。只要有未反应完的“燃料”的存在,该过程就能一直进行。燃料全部消耗完后,冠醚会从不平衡的[4]轮烷上脱落,体系转变成很低能量的起始离散状态。该工作利用催化作用来驱动人工分子泵,在催化和分子机械层面开辟了新的研究方向。
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