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广州潽拓光电科技有限公司——TV902Agilent分子泵硬件升级

性能指标H2 压缩比1.5 x 106前级管道法兰尺寸KF 16 NW前级耐压 — N212 mbar启动时间< 3 min噪音水平41 dB(A)工作位置Any建议采用的前级泵容量7 m3/h抽速 — Ar250 L/s抽速 — H2220 L/s抽速 — He255 L/s抽速 — N2250 L/s气体通量 — N2、水冷250 sccm极限真空<1 x 10-10 mbar标准和认证EN 61010-1

EN 61326-1

EN 1012-2

EN 12100

EN 50581

机械指令 2006/42/EC

电磁兼容性指令 2014/30/

EU 指令 2011/65/EU法兰类型DN 100DN 160贮存环境温度-40 至 +70 °C运行环境温度+5 to +35 °C重量5.84 kg额定转速60 KRPM

为了确认磁场对分子泵工作的影响，德国卡尔斯鲁厄理工学院（KIT）设计并执行了下面的测试：

测试条件和装置

被测分子泵的型号为 TwisTorr304 FS CFF6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径 120 厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。

被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级，分子泵的进气口压力抽至 1E-3 mbar 以下（该压力以下，热对流几乎为零，分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分）。使用 20℃ 的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的 PT100 热电阻测量定子的温度。

近日，安捷伦真空推出了一款全新涡轮分子泵 TwisTorr 305，它继承了安捷伦TwisTorr 系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点，同时，还拥有诸多全新的特点，此外，TwisTorr 305 还是安捷伦采用全新设计和制造方法所推出的一款真空产品。

安捷伦 TwisTorr 系列涡轮分子泵轻巧紧凑，可以任意角度安装，而且其采用的 AFS 悬浮轴承技术可以补偿轻微的系统振动；对于一个紧凑便携的系统而言，这些特点至关重要。

安捷伦扩散泵特点一抽气快（压力降的快）与扩散泵相比，前级泵（如罗茨泵）的抽速一般都会比较小，而且，在接近可以开启扩散泵的压力时其抽速又会很明显的下降，所以这个压力段是好多真空设备真空泵抽速的瓶颈。安捷伦扩散泵的喷塔设计使其可以开始抽气的压力和到达满抽速的压力都比较高，这样，在前级泵抽速开始下降的阶段就可以更早的以更大的抽速介入，使真空设备的压力可以很多的下降。

安捷伦提供稳定的出色涡轮分子泵系统，在实验室和工业等广泛应用中均能提供***的真空环境。我们的涡轮分子泵解决方案配备抽速 70-700 L/s 的 TwisTorr FS 系列涡轮分子泵、3-30 m3/h 的 IDP 和 TriScroll 前级干泵、5-30 m3/h 的 DS 旋片泵以及智能压力读数真空计。此类解决方案采用创新设计，利用可配置的或一体化的平台（包括小型 TPS、台式机组、DIY 系统和移动式解决方案）满足您的所有需求。

安捷伦Varian Turbo-V 551 Navigator涡轮分子高真空泵集成到许多分析仪器应用中，包括电子显微镜（SEM，TEM），聚焦离子束系统（FIB）和表面分析现代聚焦光束系统，如SEM，TEM和FIB利用将电子或离子投射到显微样品上的色谱柱进行详细分析。zui终用户分析从有机化合物到半导体晶片的所有类型的物质。特别是在半导体行业，它们需要更高的灵敏度以获得更好的样品分辨率。另一个关键要求是高样品通量，以降低这些仪器的拥有成本。