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当压力降至102Pa时，热偶电势E开始增大，这是由于此时气体传导走的热量减少，热丝温度已升高。当压力p继续降低时，热偶电势继续增大，但是越来越缓慢， 很后趋于一定值。此后，p再降低，E不再变化，即热偶真空计已达到其测量极限，这个极限为其测量下限，约为10-1Pa。为了使用上的方便，通常按照p—E校准曲线将毫伏计的刻度改成真空度。用这样刻度的真空计测量时，可直接读出真空度，再也不需要根据测得的p-E校准曲线查被测真空度。

气体种类对热偶真空计的影响热偶真空计对不同气体的测量结果是不同的，这是由于不同气体分子的导热系数不同引起的。但各种气体的p-E校准曲线形状都类同，因此，在测量不同气体的压力时，可根据干燥空气(或氮气)刻度的压力读数，再乘以相应的被测气体相对灵敏度，就可得到该气体的实际压力，即通常以干燥空气(或氮气)的相对灵敏度为1，其他一些常用的气体和蒸气的相对灵敏度如表4-2所示。相对灵敏度表明了气体热传导的性质。

对于气体分子中具有相同原子数的气体或蒸气，其相对灵敏度Sr随分子量的增大而增大。表4-2一些气体与蒸气的相对灵敏度四、热偶规管加热电流的确定由于制造热偶规管所用的材料及工艺等原因，每个规管的加热电流均不相同；在使用过程中也会因规管“老化”使得加热电流变大；此外，不同测量范围的加热电流也有差异。因此，在使用热偶计时，应按不同的量程确定规管的加热电流。

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inficon真空解决方法

inficon真空给予了一套紧密、便携式的泵组用以校准。这套泵组由一套涡轮增压分子泵组(例如，HiCube80Eco)和一个选用夹层玻璃天然珍珠喷砂加工工艺的不锈钢板箱体构成。

涡轮增压分子泵组由一个带Holweck级的(HiPace80)涡轮分子泵和一款干试缩小气动隔膜泵(MVP015-2)构成。这一款泵组的抽速很高可达67l/s而且很终真空度可达110-7hPa。不锈钢板箱体上面有六个真空计联接口。

假如顾客规定，2个参照规范(1hPa和1,000hPa)和一个冷阴极真空计可以内置在这里套系统软件中。例如，工作压力操纵和归零调节的内置。全部的真空计都开展了预校准而且合乎德国认证(German:DeutscheAkkreditierungsstelle–DAkkS)的规范。这就促使校准真空计可以被合理的执行而且合乎法律法规和标准规定，而且这一规范是一个化上认同的规范。除此之外，许多四台真空计能安裝在不锈钢板箱体上与此同时开展校准。

分子泵的基本原理由是使用汽体分子结构和快速活动的电机转子相互之间撞击而将空气分子结构带出系统软件外。汽体分子结构撞击到定子的表层反跳后，可能在其原先的热分子结构速率以外得到一部分与电机转子表层健身运动方位平行面的附加速率。

inficon电容器塑料薄膜真空计规定准确测量电源电路功能损耗低、易集成化，充分考虑分布电容和干扰信号及温度的危害，准确准确测量inficon电容器塑料薄膜真空泵规管的细微电容器是一个难点。感压塑料薄膜上的电级各自与固定不动电级、参照电级组成比较敏感电容器和参照电容器，伺服驱动器电级坐落于感压塑料薄膜下边，

根据增加静电力使感压塑料薄膜在准确测量真空值的历程中处在一个明确的部位，进而完成宽标准的动态性压力测量。当被测压力为p时，使得感压塑料薄膜处在平衡状态，则增加在感压塑料薄膜上的企业范围的静电力Fe应当工作压力p相同，静电力均衡式inficon电容器塑料薄膜真空泵规管框架图当伺服驱动器工作电压为VS时，塑料薄膜上受到的静电力Fe为：式中：ε0为真内腔室的相对介电常数；d是伺服驱动器电级与塑料薄膜间的间距。

由式（2）、式（3）得伺服驱动器工作电压与工作压力p的影响为：静电力均衡式inficon电容器塑料薄膜真空计的信号分析电源电路由微电容器准确测量电源电路和静电力控制电路构成。在其中，微电容器准确测量电源电路用于对比较敏感电容器的变化量准确测量获得工作压力数据信号，而静电力控制电路用于造成伺服驱动器工作电压。