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空检漏的意义？

答：真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量，故在抽速一定时，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的极限真空，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲，真空检漏可分为哪两大类？答：可以分为：1）压力检漏法，包括①充气检漏法，②卤素检漏法，③氨检漏法。2）真空检漏法，包括①高频火花检漏法，②真空计检漏法，③质谱仪检漏法。

简述真空泵的抽气原理？答：1）利用压缩作用将气体排除到泵外。a.机械周期式膨胀压缩，b.蒸汽流粘滞牵引压缩，c.刚性表面的牵引压缩。2）利用吸附作用将气体束缚于泵内。a.利用电离吸气作用，b.利用物理吸附和化学吸附作用。

真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。

是什麽？能做什么？怎么用？1，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。2，能做什么？真空计主要用来测量真空，或者叫测量压强大小。腔室里面气体多，压力大，压强大，真空计显示的数值就大；反之，真空计显示的数值小。

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真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。

是什麽？能做什么？怎么用？

1，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。

2，能做什么？真空计主要用来测量真空，或者叫测量压强大小。腔室里面气体多，压力大，压强大，真空计显示的数值就大；反之，真空计显示的数值小。

3，怎么用？一般就是把真空计的物理接口，KF接口或者是螺纹接口接到腔室上，然后把真空计的电气接口接到电脑或者的显示仪表上。这样就可以测量腔室的真空度，也能看到真空度具体的数值了。

4，注意，真空计是有分类的，有的适合测量低真空，也就是压强大一些的；有的适合测量高真空，也就是压强小一些的。一般常用的是热电偶真空计，皮拉尼真空计，冷阴极真空计，电离真空计。

自己接触过的真空计有电离式，皮拉尼式和冷阴极式真空计。

具体各自的工作原理，大家可以搜一搜，如果需要，我下次补上，一块学习。

石英真空计应用

在风洞中的应用

风洞模型测压试验是获得气动载荷分布和气动特性的重要方法之一。常规高速超声速风洞测压在高于2kPa高压已能够获得较好的精度，但在1kPa以下压强暂无法获得高精度的测量结果。而模型背风区压强测量，测力试验底部压强测量，低密度风洞测压试验等均存在大量微压测量任务。

用石英真空计已能测量0.2kPa-2kPa之间的压强。目前在风动中测量压强要用一细长管道将气体引出，管道长为1.3m，内径为0.9mm。风动中测量压强是要测量压强的分布，即多点测量，这些是与通常的压强测量不同的。多点测量是将石英晶振安装在一个集成箱中，由细长管道通到被测量的位置。晶振测量电路将测量到的晶振电压与电流送到统一的主控板，该主控板就存有32个位置的压强值。

由于在被测压强位置与晶振之间存在细长管道对测量会有影响，其一是使时间常数增大，读数变化缓慢，实验测量在300Pa压强时，时间常数约55秒，在风洞测量中此时间常数仍可接受。其二是细长管道会使测量下限升高。因为晶振位置总会存在一定的放气与漏气，若放气与漏气量为Q，则在晶振处的 很低压强应为P=Q/S，Q为晶振处的放气与漏气量，S为经过细长管道后晶振处的有效抽速。实验测得经细长管道后 很低指示压强为10Pa，这对测量大于0.2kPa压强管道引起了下限的增加，对测量并无很大影响。石英真空计用于大于0.2kPa压强，测量精度约为15%。

为了更好地使装置作用强，可以校准不一样品种的真空计，要确保装置测量范围充足宽、高精度。研发人员选用多种多样计量检定方式，将静态数据比较分析法、动态性比较分析法、动态性总流量法等集成化在一起。因为各种各样方式 的基本原理、构造均不同样，乃至很有可能互相干预，研发人员持续重复地完成梯度下降法实验，创新能力地将他们设计方案组成在一起，完成宽测量范围、高精密的校准。

与此同时还具有扩展作用插口，有利于扩展标准孔板校准、测漏等作用，解决了一直以来真空校准装置沉重没法带上到当场只有在试验室校准的瓶颈问题，完成了当场真空计的准确校准。应用携带式真空计校准装置“小直尺”都发生在哪儿？携带式真空计校准装置自研发代迄今，近年来，商品获得30好几家企业的运用。“小直尺”充分发挥着“大功效”，在嫦娥系列月球探测仪、火星探测器、空间站、北斗导航等重要航空航天型号规格工作的研发实验及发送中获得了巨大运用；

在处理芯片、行波管、大气电气设备、真空泵元器件、高精密时钟、充电电池等生产全过程/生产机器设备的定时校正中也激发着关键功效；与此同时，在飞机发动机、、巡航等的实验与生产，特种钢材冶炼厂、高纯气体制备、装备生产当场都曾发生携带式真空计校正设备的小影子。高新科技要发展趋势，计量检定须优先。