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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵维修协议

Alcatel MDP5011 Turbo pump 为法国Adixen 公司生产的一款小型分子拖动泵：（TurboMolecular Drag Pump) 。

      拖动分子泵Alcatel MDP 5011 由对应MDP5010 改进而来，早名称为Alcatel MDP5011， 后来法国阿尔卡特真空部门独立出来为Adixen ,

对应分子泵就改名为Adixen MDP5011, 再后来，法国Adixen 公司被德国Pfeiffer Vacuum收购，的名称就是 Adixen MDP5011

by Pfeiffer Vacuum.

广州潽拓光电科技有限公司维修拖动分子泵，Alcatel MDP5010 TurboMolecular Drag Pump 及 Alcatel MDP5011

TurboMolecular Drag Pump 维续都是我司的强项。

请见Alcatel MDP5011 ,我们可以看到Alcatel MDP 5010， MDP5011 Turbo Drag Pump 采用Holweck Stage 结构，

其在10mbar下就能正常工作到27000转/分钟，允许的通过流量为400SCCM，能达到的极限真空为10-5mbar

Adixen  ACT1000T 分子泵控制器是专门用来驱动Alcatel ATP900 ,Alcatel ATP900HPC 分子泵的

Alcatel ACT1000T 分子泵电源已停产，无法再提供销售服务。

广州潽拓光电真空技术有限公司可以提供Alcatel ACT1000T，Adixen ATP900 Turbo molecular  Pump的维修及对换服务

Alcatel真空部门独立后，成为Adixen, 对应的规格型号改为： Adixen ATP80， Adixen ATP100，Adixen  ATP150，

Adixen  ATP400，Adixen ATP900及Adixen ATP80c， Adixen ATP100c，Adixen  ATP150c，Adixen  ATP400c，

Adixen ATP900c 及 Adixen ATP80HPC， Adixen ATP100HPC，Adixen  ATP150HPC，Adixen  ATP400HPC，

Adixen ATP900HPCAlcatel ATP(Adxien ATP)系列分子泵对应的分子泵控制器（亦称为分子泵电源） 有：ACT100T ACT250 及ACT200T， ACT600T ACT1000T及 ACT600TH等。

Adixen ATH系列就是Adixen改进的涡轮分子泵，采用封闭式轴承，转速提供到45000rpm,且采用多层导流的模式，

有效避免碎泵的发生。

Adxien ATH-400M,ATH-400MT五轴磁悬浮分子泵，对应转速为39000rpm，对应控制器为ACT600M，ATH-400M 的接口尺寸为DN100-ISO-K 及 DN160-ISO-K Adxien ATH-1300M,ATH-1300MT五轴磁悬浮分子泵，对应转速为34000rpm，对应控制器为ACT1300M，ATH-1300M 的接口尺寸为DN200-ISO-F 及 DN160-ISO-F  Adxien ATH-1600M,ATH-1600MT五轴磁悬浮分子泵，对应转速为39000rpm，对应控制器为ACT1300M，ATH-1600M 的接口尺寸为DN200-ISO-F 及 DN250-ISO-F Adxien ATH-2300M,ATH-2300MT五轴磁悬浮分子泵，对应转速为31000rpm，对应控制器为ACT2300M

请见广州潽拓光电真空技术有限公司维修Adixen ATH2300M五轴磁悬浮分子泵，其分子泵控制器为Adxien ACT2300M：

Adxien ACT2300M Turbo pump Controler, Please see its photo, By Felight Vacuum System Co.,LTD

 And you can see Alcatel ATH2300M / Adxien ATH2300M  Turbopump speed is 31000rpm from ACT2300M,

涡旋干式真空泵的工作原理与结构

　　涡旋干式真空泵的结构简单，零部件少；间隙小、泄漏率小，具有较高的压缩比，在较宽压力范围内有稳定的抽速；由于压缩腔内容积的变化是连续的，因而驱动力矩变化小，功率变化小；振动噪声小，可靠性高。

　　由于涡旋泵的上述优点，涡旋泵在一些发达国家已经逐步代替了油封式机械泵。目前涡旋泵主要应用于分析仪器、半导体芯片生产线、液晶显示器生产线和科研设备上。

　　由于涡旋泵加工制造比较困难，再加上自身型线的特点，涡旋泵的抽速大的也不超过10L·S-1 ，抽速的在1L·S-1左右，抽速大于4L·S-1的涡旋泵全部采用双侧涡旋结构，而抽速小于4L·S-1的泵多采用单侧涡旋结构。在实际应用中用量大的是抽速为8L·S-1涡旋泵。

　　涡旋型线参数相同、相位角差π、基圆中心相距r (r的取值与渐开线节距及壁厚有关)的动涡旋盘与静涡旋盘组装后，可以形成数对封闭的月牙腔。当偏心轴推动动涡旋盘中心(即基圆圆心)绕静涡旋盘中心(即基圆圆心)做半径为r的圆周轨道运动时，这些封闭月牙腔容积相应地扩大或缩小，由此实现气体的吸人、压缩和排气的目的。低压气体从静涡旋盘上开设的吸气口进入吸气腔，经压缩后由静涡旋盘中心处的排气口排出。

　　涡旋泵的气体在由涡旋转子和涡旋定子组成的月牙腔内压缩，涡旋定子固定在机架的周边上，在涡旋定子的周边上开设有吸气口，在转子和定子涡旋体中心部位开设有排气口。涡旋转子随着曲轴的回转以偏心量r为半径绕定子中心做公转运动。涡旋转子还受防自转机构的约束，不能自转，始终保持着一种固定的姿态，其中心绕涡旋定子中心作半径为r的圆周运动。