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给出不单独设置粗抽管道、不设置高真空阀门的涡轮分子泵抽气系统，这个系统的真空室是直接通过涡轮分子泵进行粗抽的。因为系统上没有粗抽管道，所以就不存在因粗抽管道而带来的污染和切换区域不适当等问题。从结构上看，系统也变得更简单了。它没有粗抽阀、管道和冷阱，也不需要高真空阀，只需要一个电离规和一个热传导规。

每当打开真空室暴露大气时，就必须把整个系统停机，而后再重新启动。这就使得液氮冷却表面使用起来不方便，因为每当系统停机时，必须将冷却表面升温。1-检漏接口阀；2-涡轮分子泵；3-放气阀；4-电离规；5-热传导规；6-真空管路阀；7-电磁放气阀；8-机械泵。图2  不用阀门的涡轮分子泵抽气系统同时，启动涡轮分子泵和机械泵，通过涡轮分子泵进行粗抽，必须正确选配前级机械泵。

如果机械泵的抽速小，它是不能在涡轮分子泵达到很大转速以前把真空室抽到过渡区的。当出现这种情况时，电动机的过流保护电路就会把涡轮分子泵关掉。抽速大小合适、运转适当的机械真空泵应该是在涡轮分子泵达到其额定转速的75%左右时就能把真空室抽到20~200Pa，这样也可防止机械泵油的返流。大多数涡轮分子泵所设计的启动加速时间为5~10min。

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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面：压缩比与前一阶段压力之间的关系泵选择机械泵作为前级泵。当当前级压力满足一定要求时，分子泵稳定工作，减压比保持恒定。如图464所示，当当前级压力升至1Pa时，子压缩比开始降低，而当当前级压力升至数十帕斯卡时，压缩比急剧下降，分子泵无法正常工作。

抽速与气体类型之间的关系。所示的关系是，该变化比直线稍慢。这是因为，在旋转速度下，P较大的气体具有较大的速度比，因此叶片的Hoe系数较大，但是它们在进气管中的电导率是由于增加和减少。涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。

涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能、可控热核反应装置、重粒子以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。

没有单设粗抽管路的涡轮分子泵系统的操作：先打开分子泵冷却系统和前级管路阀，并同时启动前级（粗抽）机械泵和涡轮分子泵。如果粗抽泵（前级泵）选择得当，使真空室的粗抽时间等于分子泵的加速（启动）时间，则真空系统就能在没有泵油蒸汽返流的情况下把真空室抽到其本底压力。

该系统在停机前，要先关闭前级管路阀，然后切断分子泵电源和关闭冷却水。等分子泵转速下降到额定工作转速的一半时，再在泵的入口处充入干燥气体，当系统充到大气压力后，应关闭放气阀门。根据需要在前级阀关闭后的任何时候停掉前级泵系统。

涡轮分子泵应用于脉冲激光沉积系统PLD涡轮分子泵应用于脉冲激光沉积系统PLD

脉冲激光沉积PulsedLaserDeition,PLD,是一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上,得到沉淀或者薄膜的一种手段.PLD系统由多个真空腔体组成,整个系统需要超高真空且不能引入任何杂质,对环境的清洁度要求较高,必须配备无油干泵和分子泵抽真空.由于各个辅助腔体体积较小,因此特别适合使用Hicube系列分子泵组.分子泵组因其结构紧凑体积小,清洁无油（前级泵配备干泵),抽速快,极限真空度高达10-11mbar等优点广泛应用于此设备.

分子泵油池安装注意事项①、拆油②、油量控制③、油池卫生，防颗粒④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏

3进出口法兰、冷却水安装①、泵入口：对正、对称拧紧②、泵出口：防止错位③、冷却水：无漏水；入口水压0.2MPa；水温20±５℃；水质澄清无沉淀注意：环境温度：风冷需小于32℃;水冷可至40℃入口压强：强制风冷

电缆安装注意事项①、对正槽口插入②、用螺母拧紧，边插边拧③、检查到位

5振动隔离、冲击防护

1分子泵振动，可直接接于被抽系统。对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器，以便很大可能的减少振动。2冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）

气体振动（气量突变、压强突变）

意外振动（掉入异物、碰撞等）注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。

6大气载、热气体、突变气载

a引起问题：温度升高；动静片变形；转子上移；润滑失效5℃原则；轴承失效b.措施：加大水冷；增加冷却装置；缩短换油时间