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     EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修

爱德华EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的***单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。

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【广州现货】Edwards爱德华涡轮分子泵nEXT240D ，二手分子泵维修保养


入口法兰                  DN100ISO-K，DN100CF

出口法兰                  DN25NW

标称旋转速度              60000 rpm

待机旋转速度              可在 33000 至 60000 rpm 之间变化（默认为 42000 rpm）

推荐控制器                TIC200 分子泵和仪器控制器

Edwards next85h cf63 nw16 80w 涡轮增压泵

概述：

      爱德华Edwards nEXT轮分子泵是一种带有复合牵引级和机载式控制器的混合轴承涡轮分子泵，抽速的范围为 47 ls-1 至 400 ls-1。它们全部使用永磁上轴承，能够消除转子顶部的碳氢化合物，同时使用油润滑下轴承，可实现可靠的高速操作。

     广州潽拓光电有限公司维修爱德华全系列分子泵，Edwards爱德华涡轮分子泵nEXT85、nEXT240、nEXT300、nEXT400型号齐全。