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发布时间:2022-05-11 02:48:00 作者:潽拓光电
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莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵
TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,涡轮分子泵用于以下应用场合:- 蚀刻;- 溅射;- 离子注入;- CVD;- 光刻。这些应用中,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象, 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热,能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。
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Leybold TW 400-300-25 03 德国莱宝涡轮分子泵典型的应用:
氦检漏仪
液相色谱-质谱(LC-MS)
气相色谱/质谱(GC-MS)
电感耦合等离子体质谱法
德国莱宝 Oerlikon Leybold TURBOVAC TW/SL系列复合分子泵/销售/维修/保养 :
TW70LS、 TW70H 、TW70、 TW220、TW150 、TW250S 、TW250 、TW290H 、TW290S 、TW501、TW300 、TW300H 、TW690、 TW700、 TW701、TW1600、TW2401 、TW220/150S、TW220/150/15S、TW300/400/25S、TW220/170S、SL80、 SL300 、SL700等
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广州潽拓光电科技有限公司主要维修leybold,pfeiffer,alcatel,agilent(varian),shimadzu,Edwards,Osaka等分子泵,欢迎来电咨询,。
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