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广州潽拓光电科技有限公司——TV250Agilent分子泵维修升级

分子泵市场

　　分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。

　　由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。

油池安装注意事项　　①、拆油

　　②、油量控制

　　③、油池卫生，防颗粒

　　④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏

涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，可以通过它实现 0.00000001Pa（大气压的十万亿分之一）的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪（比如 GC/MS、LC/MS、TOF…）、镀膜机、电子显微镜（SEM、TEM）、聚焦离子束系统（FIB）、表面分析仪器，高能物理实验装置、高真空实验装置等诸多应用。

采用该技术的分子泵尺寸会更紧凑，并且有更高的压缩比和前级耐压。更高的压缩比（特别是对小分子气体的高压缩比）可以带来更好的极限真空，而更高的前级耐压允许使用更小的前级泵，从而降低了整个真空系统的成本和尺寸。

阻尼减振器：为了进一步减小分子泵振动对电子显微镜等高灵敏度分析仪器的影响，安捷伦真空专门开发了一款阻尼减震器，该减震器可以将涡轮分子泵在满转速时的振动减小到原来的1/40左右（CF法兰）。

为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀，安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月，可以使用软启动功能启动分子泵，转速以阶梯方式缓慢加速，使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月，建议送回维修中心，让分子泵在检测平台上按照既定程序加速（Re-channeling），磨合轴承。

安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异，分子泵的工作寿命差别很大，但是如果分子泵已经工作了很长时间（5年以上），或者出现了噪音、温度、功率异常，及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。

从上世纪60年代上市以来，安捷伦（即原瓦里安，下同）扩散泵一直口碑很好。很多用户采购新的真空炉或镀膜机等设备时，会用安捷伦的型号，也有很多用户——特别是同时有安捷伦和其它扩散泵的客户——联系安捷伦，要求用安捷伦的扩散泵替换其旧设备上的其它品牌的扩散泵。

传统的真空泵会产生废油，易出故障，这对妥善管理设备提出了挑战。安捷伦 IDP 真空泵系列拥有更清洁、安静的无油泵产品，能够实现真正的无油操作，助您改善实验方法，使实验室环境更加舒适整洁，是 GC/MS 系统更绿色、可持续的选择。继 5977B 使用无油干式真空泵 IDP-3 的选配方案后，安捷伦又发布了用于 7000 系列的选配方案 IDP-10，并且我们还设计了用于旧设备的升级套装。