广州ULVACUTM2300FW分子泵维修服务介绍「潽拓光电

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给出不单独设置粗抽管道、不设置高真空阀门的涡轮分子泵抽气系统，这个系统的真空室是直接通过涡轮分子泵进行粗抽的。因为系统上没有粗抽管道，所以就不存在因粗抽管道而带来的污染和切换区域不适当等问题。从结构上看，系统也变得更简单了。它没有粗抽阀、管道和冷阱，也不需要高真空阀，只需要一个电离规和一个热传导规。

每当打开真空室暴露大气时，就必须把整个系统停机，而后再重新启动。这就使得液氮冷却表面使用起来不方便，因为每当系统停机时，必须将冷却表面升温。1-检漏接口阀；2-涡轮分子泵；3-放气阀；4-电离规；5-热传导规；6-真空管路阀；7-电磁放气阀；8-机械泵。图2  不用阀门的涡轮分子泵抽气系统同时，启动涡轮分子泵和机械泵，通过涡轮分子泵进行粗抽，必须正确选配前级机械泵。

如果机械泵的抽速小，它是不能在涡轮分子泵达到很大转速以前把真空室抽到过渡区的。当出现这种情况时，电动机的过流保护电路就会把涡轮分子泵关掉。抽速大小合适、运转适当的机械真空泵应该是在涡轮分子泵达到其额定转速的75%左右时就能把真空室抽到20~200Pa，这样也可防止机械泵油的返流。大多数涡轮分子泵所设计的启动加速时间为5~10min。

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涡轮分子泵应用于低温扫描隧道显微镜LT-STM涡轮分子泵应用于低温扫描隧道显微镜LTSTM

扫描隧道显微镜STM是根据力学中的隧道效应原理,通过探测固体表面原子中电子的隧道电流来分辨固体表面形貌的新型显微装置.低温扫描隧道显微镜LT-STM真空互联除了具有纳米分析能力外,它还可以在4到300K的温度范围内对原子和分子进行准确操作.

低温扫描隧道显微镜LT-STM具有很长的LHe保持时间,极低的漂移率和出色的稳定性dz

LT-STM系统需要在超高真空环境中进行研究,对真空度要求及其高,真空可到1E-10mbar,需要用前级泵,分子泵,离子泵,钛泵等组合使用来达到要求,同时分子泵需要低振动,低噪音,清洁无油确保超高真空的稳定性以保证晶体的生长和后期的探测分析.

某搭建LT-STM真空互联系统公司,采购5套涡轮分子泵用于给装置提供超高真空.主要技术参数如下:

抽速L/S

N2:260,H2:220,He:255,Ar:255

全转速时气体流量

mbarl/s

N2:14,H2:>14,He:20,Ar:7

压缩比

N2:>1X1011,H2:9X105

He:>1X108,Ar:>1X1011

声压水平

≤50dBA

很大功率消耗

300W

很大电流

12.5A

安装方向

任意方向

允许辐射的很大热功率

2.4W

很大允许磁场

5.5MT

转速±2%

60000min-1

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涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>

分子泵故障：1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？原因：附近有光照或其他热源解决方法：避免光照或热源2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？原因：冷却不良，负载太大解决方法：检查冷却系统，检查真空系统

分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？原因：负载太大，系统真空度不够解决方法：检查系统4、分子泵轴承为什么会烧毁原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘