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发布时间:2022-06-03 02:14:00 作者:潽拓光电
广州潽拓光电科技有限公司——TV550Agilent分子泵维修改造
使用经过加速的离子束照射被测的表面,通过分析反射的粒子或光谱来测定被照射表面的具体成分。离子束分析技术可以对物体表面和近表面的元素进行分析,具有快速直接、无需样品处理、无损、元素覆盖范围广等特点。
测试条件和装置
被测分子泵的型号为 TwisTorr304 FS CFF6,使用一对亥姆霍兹线圈(直径 120 厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。
被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级,分子泵的进气口压力抽至 1E-3 mbar 以下(该压力以下,热对流几乎为零,分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分)。使用 20℃ 的冷却水对分子泵持续进行冷却;分子泵的控制器会自动调整电机电流,保持转子以恒定转速运行。使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的 PT100 热电阻测量定子的温度。
安捷伦提供稳定的出色涡轮分子泵系统,在实验室和工业等广泛应用中均能提供***的真空环境。我们的涡轮分子泵解决方案配备抽速 70-700 L/s 的 TwisTorr FS 系列涡轮分子泵、3-30 m3/h 的 IDP 和 TriScroll 前级干泵、5-30 m3/h 的 DS 旋片泵以及智能压力读数真空计。此类解决方案采用创新设计,利用可配置的或一体化的平台(包括小型 TPS、台式机组、DIY 系统和移动式解决方案)满足您的所有需求。
安捷伦Varian Turbo-V 551 Navigator涡轮分子高真空泵集成到许多分析仪器应用中,包括电子显微镜(SEM,TEM),聚焦离子束系统(FIB)和表面分析现代聚焦光束系统,如SEM,TEM和FIB利用将电子或离子投射到显微样品上的色谱柱进行详细分析。zui终用户分析从有机化合物到半导体晶片的所有类型的物质。特别是在半导体行业,它们需要更高的灵敏度以获得更好的样品分辨率。另一个关键要求是高样品通量,以降低这些仪器的拥有成本。
对使用过的安捷伦扩散泵做过保养的客户都会有一种印象,与别的扩散泵经常会结满黑黑的油垢不同,安捷伦的扩散泵喷塔往往在使用好几年后也非常干净,有客户甚至猜测安捷伦的扩散泵喷塔使用了类似不粘锅的涂层。其实,这主要是因为安捷伦扩散泵喷塔上防焦化挡板设计——在每一级喷嘴的上方,都会有一个与下面的喷塔点接触的罩子,该罩子的温度比喷塔低很多,所以,从上方滴下的油滴就不会落到高温的泵塔上焦化结垢,而是滴落在低温的挡板上,这就保证了安捷伦扩散泵的喷塔可以一直很干净,不用定期费时费力清洗
一般的检漏仪只能设置大于某一漏率的报警值。因此在系统检漏时,当分流比过大却没有设置相应的分流比,或者当检漏阀门关闭或堵塞时,就有可能错过泄漏。安捷伦 HLD 系列检漏仪可以同时设置大于某一漏率和小于某一漏率的报警值。这样,当检漏仪的漏率小于经验的本底值或者预先安装的标准漏孔的值时,就会触发报警。另外,在使用自动排序器模式进行密封元器件的检漏时,除了对漏率可以同时设置大于和小于某一漏率的报警值外(使用背压法检漏的器件,当泄漏很大时,检漏仪的读数反而会很小),还可以设置长粗抽时间和检漏时间,从而尽可能地避免系统污染、漏气、堵塞等带来的误报、漏报等
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