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热传导真空计的原理？通过什么量的测量来反映热传导的变化？

答：热传导真空计是依据低压气体的热传导与压力有关这一现象来进行测量的。它可以通过热丝电阻的变化来反映温度的变化，从而反映热传导的变化，用此种测量方法的真空计称为热阻真空计，又称为皮拉尼真空计。也可以直接用热电偶测量热丝的温度变化来反映热传导的变化，称为热偶真空计。

影响热传导真空计测量下限的原因是什么？

答：热丝的热量除了气体传热外，还可以沿着热丝本身向两端传热，即固体传热；还可以以辐射的方式传热，这两种传热方式与压力无关，当压力较低，气体的传热量明显低于固体的传热和辐射传热时，就不能反映压力的变化了，即达到了测量的下限。

热传导真空计为什么易老化？

答：因热丝长期工作在高温下，受气体作用易氧化变细，或导致热丝本身结晶构造变化，因此会改变热丝的电阻，造成零点的漂移，这是属于热丝本体的。热丝表面因会吸附气体而改变了表面的适应系数，即热交换的机制，造成灵敏度的变化。以上均属于老化现象。

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不同测量范围的加热电流也有差异。因此，在使用热偶计时，应按不同的量程确定规管的加热电流。①10～10-1Pa量程：规管须垂直倒置，在真空度优于10-2Pa时调定加热电流(此时热电势为10mV，即满刻度)，其加热电流可调节范围为95～150mA。②102～10Pa量程：规管须垂直倒置，在0.1MPa时调定加热电流，其加热电流可调节范围为175～300mA或以上。

热偶计规管的结构较电阻式规管复杂一些，但p-E校准曲线受外界温度的影响较小。 MEMS传感器具有小型化、低成本、、易与CMOS集成电路兼容等特点。在不同类型的MEMS传感器中， 很普遍、应用 很广泛的是压阻式和电容式传感器。与压阻式传感器相比，电容式传感器具有灵敏度高、温度系数低、功耗低等优点。

MEMS电容薄膜真空计作为MEMS电容式传感器的一种，能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求，具有广泛的应用前景。MEMS电容薄膜真空计包含真空规管和测量电路两个部分。其中，真空规管将真空度转化成电容量，测量电路对电容量进行处理得到真空度的值。MEMS电容薄膜真空规管初始电容量的范围为几到几十皮法，其电容变化量为几飞法甚至更小。

气体的真空磁导率比灯丝的直徑大许多时，Qg根据随意分子结构的导热被表明为式中α———适度参量；Λ———分子结构的热传导率；d———灯丝直徑；a———灯丝长短；T———灯丝温度；T0———金属材料圆桶的温度；p———气体气体压强。Qs和Qr可以各自表述为式(4-8)意味着电级的导热，在其中S是灯丝的断总面积，κ是固态的热传导率，L是电级的长短。式(4-9)意味着辐射热，σ和ε分别是玻尔兹曼参量和固态辐射率。假如维持T和T0一定，则式(4-8)和式(4-9)为参量。

假如用I20R表明一定量的固态导热和辐射热，则式(4-6)可以表述为I0是灯丝的电流量，持续填补固态导热和辐射热而提供的热能损害。A不是依附气体压强的参量。假如已经知道灯丝的电阻器R、电流量I0及参量A，则可以根据式(4-10)求取气体压强p。热电阻真空计的气体压强检测范围在0.1～300Pa，具备下列优势：(1)构造简易、非常容易生产制造、非常容易实际操作；

工作中温度、工作标准电压较低；(3)测定读值为全气体压强，而且可以完成长距离的连续性准确测量。可是，热电阻真空计具备受温度危害大、读值時间落后、读值因气体类型而异、读值必须校正等缺陷。二、热偶真空计工作中特点热偶真空计是相对性真空计，其工作压力-热偶电势差相匹配值无法用计算方式准确求取，因而，经常在规范自然环境情况下，用肯定真空计或用校正系统软件经校正明确。

热偶真空计工作中特点热偶真空计是相对性真空计，其工作压力-热偶电势差相匹配值无法用计算方式准确求取，因而，经常在规范自然环境情况下，用肯定真空计或用校正系统软件经校正明确。在一定的加温电流量情况下，适用DL-3型规管的热偶真空计对干躁气体的校准曲线如下图4-9和图4-10所显示。

DL-3型热偶真空计的校准曲线(10～10-1Pa)图4-10DL-3型热偶真空计的校准曲线(102～10Pa)由图4-10可以看出，当工作压力从0.1MPa逐渐逐步减少(图上未画出)的一段工作压力区域内，热偶电势差E一直在零值周边，其根本原因是气体分子结构多，传输走的卡路里多，因此热丝温度低，热偶电势差E亦低，并且这时(λ≤r1)导热与工作压力不相干，故热偶电势差E不转变(小量转变是气体热对流造成的)。

当气体压力至102Pa时，热偶电势差E逐渐扩大，这也是因为这时气体传输走的发热量降低，热丝温度已上升。当工作压力p再次下降时，热偶电势差再次扩大，可是愈来愈迟缓，很后趋向一定值。自此，p再减少，E不会再转变，即热偶真空计已做到其准确测量限，这一限为其准确测量低值，约为10-1Pa。为了更好地应用上的便捷，通常依照p—E校准曲线将微伏计的标尺改为真空值。用那样标尺的真空计准确测量时，可立即读取真空值，从此不用依据测定的p-E校准曲线查被测真空值。