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TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵特性可对轻质气体实现高压缩比，同时支持高气体流速，从而能够通过 DN100 法兰以 400 L/s 的抽速在极低的极限压力下运行，同时可用于高通量应用无烃运行，可确保真空系统洁净远程控制器可在距离 100 m 处进行操作。低振动和低噪音 (43 dB(A))，打造舒适的工作环境并且可以在敏感的实验环境下运行体积小巧，可安装在任何位置，有利于轻松集成免维护轴承，零运行成本通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制，以便随时随地进行泵的操作防辐射和防磁场设计，无嵌入式电子设备，可在强磁场和辐射环境下运行低电磁辐射，确保不会干扰工艺过程泵控制软件使灵活性、速度和简便性达到化，可在泵的操作条件下始终保持气体流量和压缩比

性能指标H2 压缩比3 x 106冷却方法Air coolingWater cooling前级管道法兰尺寸KF 25 NW前级耐压 — N210 mbar启动时间< 5 min噪音水平43 dB(A)工作位置Any建议采用的前级泵容量10 m3/h抽速 — Ar340 L/s抽速 — H2415 L/s抽速 — He505 L/s抽速 — N2380 L/s气体通量 — Ar、水冷3.3 mbar L/s；195 sccm气体通量 — N2、水冷6.2 mbar L/s；367 sccm极限真空<1 x 10–10 mbar标准和认证61326-1

61010-1

DIR 2006/42/CE

DIR 2014/35/EU

DIR 2014/30/EU

DIR 2011/65/EU法兰类型DN 100贮存环境温度-40 至 +70 °C运行环境温度+5 to +35 °C重量22.6 kg额定转速从 40.8 至 49.5 KRPM

与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器，变被动保护为主动调整，可以根据不同的工艺条件，自动调整输出功率和转速，使泵在保证自身安全的同时，始终工作在一个达到好的性能曲面上（3D），达到气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行，可以延长其使用寿命。

安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构，由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低，震动小，结构简单，运行稳定，维护间隔周期长等优点，而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。

据悉，CombiNEG系列可复合2000L/s的吸气剂泵，其开启工作时可将前级泵隔离封闭抽气，可靠性高，所需电流小，对环境磁场的影响也很小，并且无油无振动，非常适合粒子、表面科学仪器和设备等需要超高真空、极高真空的系统。双泵复合单一抽气口的设计，使其结构很紧凑，安装使用也更简单。在结构上，CombiNEG系列采用安捷伦科技（AgilentTechnologies）StarCell离子泵抽气单元和赛斯集团 （SaesGroups）的烧结型非蒸散型吸气剂（NEG）。

安捷伦提供稳定的出色涡轮分子泵系统，在实验室和工业等广泛应用中均能提供***的真空环境。我们的涡轮分子泵解决方案配备抽速 70-700 L/s 的 TwisTorr FS 系列涡轮分子泵、3-30 m3/h 的 IDP 和 TriScroll 前级干泵、5-30 m3/h 的 DS 旋片泵以及智能压力读数真空计。此类解决方案采用创新设计，利用可配置的或一体化的平台（包括小型 TPS、台式机组、DIY 系统和移动式解决方案）满足您的所有需求。

安捷伦Varian Turbo-V 551 Navigator涡轮分子高真空泵集成到许多分析仪器应用中，包括电子显微镜（SEM，TEM），聚焦离子束系统（FIB）和表面分析现代聚焦光束系统，如SEM，TEM和FIB利用将电子或离子投射到显微样品上的色谱柱进行详细分析。zui终用户分析从有机化合物到半导体晶片的所有类型的物质。特别是在半导体行业，它们需要更高的灵敏度以获得更好的样品分辨率。另一个关键要求是高样品通量，以降低这些仪器的拥有成本。

安捷伦分子泵采用了新的悬浮技术AFS，悬浮转子，能够有限改善震动。AFS提供了超高精度，确保了轴承对准。同时径向静止设计，极大优化转子运动形态和降低噪音。安捷伦提供从TV84FS，TV304FS，TV551，TV701，TV1001，TV2300，TV3KG等不同抽速大小的分子泵，以满足客户不同的应用需求。

安捷伦分子泵采用新的3级TwissTorr 拖动级技术，通过分子泵旋转盘面，提高气体分子动能，从而有效提高抽速和极高的压缩比。新的拖动级技术与上一代设计相比，功耗降低了20%。安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵，是目前市场上极限真空度好的干泵