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真空计校准装置如何实现“小尺子”发挥“大作用”？

回顾便携式真空计校准装置的研发历程，为了保证校准装置的灵活使用，以实现在线校准的初心为牵引，真空事业部产品研发人员在前期技术积累基础上，开展集智攻关，突破了众多技术难关。为了满足不同空间、不同环境的灵活使用，要保证“尺子”体积足够小、方便携带。

便携式真空计校准装置技术负责人介绍，真空计一般都是应用在真空环境模拟试验装置上，这些装置可都是“大家伙”，按照传统的计量校准方法，需要将上面使用的各类真空计拆下来送到实验室进行定期校准，不仅增加了拆装的工作量，运输过程中还存在损坏的风险。真空计频繁拆装成了影响试验生产进度的重要因素之一。

为了保证真空计在各类产品的科研试验生产现场中的灵活计量，多年来，真空事业部研发人员在前期技术积累基础上，开展集智攻关，成功研制了便携式真空计校准装置。该装置解决了长期以来真空校准装置笨重无法携带到现场只能在实验室校准的技术难题，实现了真空计在线校准，保证了试验生产任务持续有效进行。

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.inficon真空计的特点？答：inficon真空计是一种真空计，可以给出被测压力的值。但inficon计只能测量被测气体中性气体的分压强，不能测量其中可凝性气体的压强。

影响热传导真空计测量下限的原因是什么？答：热丝的热量除了气体传热外，还可以沿着热丝本身向两端传热，即固体传热；还可以以辐射的方式传热，这两种传热方式与压力无关，当压力较低，气体的传热量明显低于固体的传热和辐射传热时，就不能反映压力的变化了，即达到了测量的下限。

谱拓科技唯实致力于提供的真空控制、检测仪器、光机电一体化设备，以的产品和服务为客户创造价值。以技术创新为手段，以产品专门化、规模化生产为基础，努力发展成为国内仪器设备，特别是在真空领域具有竞争力的生产、服务型企业。作为现代高新技术企业，

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真空计工作原理、工作特性及使用热偶真空计是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。一、热偶真空计工作原理热电偶真空计的构造如图1所示，气体分子承担的热传导量与压强成正比是热电偶真空计的工作原理。

热电偶真空计的构造图金属圆筒内部设有一根灯丝，两端连接电极，通电后灯丝会发热。灯丝的热量会通过气体分子碰撞灯丝、热辐射和固体热传导等方式被夺走。设单位时间内以上述三种方式夺走的热量分别为Qg、Qr、Qs，则平衡状态下以下公式成立：式中Q———单位时间灯丝放出的热量；R———灯丝的电阻；I———灯丝的电流。

气体的平均自由程比灯丝的直径大很多时，Qg通过自由分子的热传导被表示为式中α———适当常数；Λ———分子的热传导率；d———灯丝直径；a———灯丝长度；T———灯丝温度；T0———金属圆筒的温度；p———气体压强。Qs和Qr可以分别表示为式(4-8)代表电极的热传导，其中S是灯丝的断面积，κ是固体的热传导率，L是电极的长度。式(4-9)代表热辐射，σ和ε分别是玻尔兹曼常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定，则式(4-8)和式(4-9)为常数。

inficon电容器塑料薄膜真空计规定准确测量电源电路功能损耗低、易集成化，充分考虑分布电容和干扰信号及温度的危害，准确准确测量inficon电容器塑料薄膜真空泵规管的细微电容器是一个难点。感压塑料薄膜上的电级各自与固定不动电级、参照电级组成比较敏感电容器和参照电容器，伺服驱动器电级坐落于感压塑料薄膜下边，

根据增加静电力使感压塑料薄膜在准确测量真空值的历程中处在一个明确的部位，进而完成宽标准的动态性压力测量。当被测压力为p时，使得感压塑料薄膜处在平衡状态，则增加在感压塑料薄膜上的企业范围的静电力Fe应当工作压力p相同，静电力均衡式inficon电容器塑料薄膜真空泵规管框架图当伺服驱动器工作电压为VS时，塑料薄膜上受到的静电力Fe为：式中：ε0为真内腔室的相对介电常数；d是伺服驱动器电级与塑料薄膜间的间距。

由式（2）、式（3）得伺服驱动器工作电压与工作压力p的影响为：静电力均衡式inficon电容器塑料薄膜真空计的信号分析电源电路由微电容器准确测量电源电路和静电力控制电路构成。在其中，微电容器准确测量电源电路用于对比较敏感电容器的变化量准确测量获得工作压力数据信号，而静电力控制电路用于造成伺服驱动器工作电压。