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发布时间：2022-07-12 08:14:00 作者：潽拓光电
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磁悬浮分子泵的基本原理是利用磁轴承产生电磁力使转轴处于无接触的悬浮状态,其悬浮状态的获得需要以转轴位置为基准实施磁轴承输出电磁力的控制.
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分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的-种真空泵凹。1976年德国LEYBOLD公司首先开发出了磁悬浮涡轮分子泵，现在目前工业生应用*多的就是中5轴磁悬浮分子泵。除LEYBOLD公司外，德国PFEIFFER公司,英国BOCEDWARDS公*，法国ALCATEL公司，日本岛津公司等都有成熟的磁悬浮分子泵产品
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