越秀区inficon真空计控制器维保来电咨询「潽拓光电」

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热传导真空计为什么易老化？

答：因热丝长期工作在高温下，受气体作用易氧化变细，或导致热丝本身结晶构造变化，因此会改变热丝的电阻，造成零点的漂移，这是属于热丝本体的。热丝表面因会吸附气体而改变了表面的适应系数，即热交换的机制，造成灵敏度的变化。以上均属于老化现象。

电离真空计的工作原理？答：利用电子对气体的碰撞产生电离作用，而电离的效果是与气体压力有关的。当电子电流一定时，电离形成的离子流正比于压力，故通过离子流间接测量气体的压力。

什么是电离真空计的外控接法？有何好处？答：如规管的栅极作为电子加速极，而板极作为离子收集极，此种接法即为外控接法。其好处是电子在加速中不易被栅丝截获，并受灯丝和板极的电位排斥，可以在灯丝与板极的空间，反复穿过栅极来回振荡，如此，可显著提高测量的灵敏度。

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上世纪50年代，D.J.Pacey研究用石英晶振测量气体压强。他采用双三级管（电子管）做电路，其一侧与晶振构成Pierce-Miller振荡器，晶振置于被测气体中作压强传感器。当气体压强变化时，阳极电流也随之变化。据称该仪器可测105Pa到13.3Pa的压强。

到了20世纪80年代，M.Ono等人设计了测量范围从1.33Pa到大于105Pa的石英真空计。所用晶振为音叉结构，长2.66mm，宽0.3mm，厚0.13mm，谐振频率为32768Hz。仪器采用位相锁定环路，（phaselookedloop）使振荡电路的频率与晶振的谐振频率保持一致。为了进一步减小下限，经过对石英晶振结构的研究，选用10mm长的晶振做成0.133Pa~105Pa测量范围的真空计。

石英真空计应用

在风洞中的应用

风洞模型测压试验是获得气动载荷分布和气动特性的重要方法之一。常规高速超声速风洞测压在高于2kPa高压已能够获得较好的精度，但在1kPa以下压强暂无法获得高精度的测量结果。而模型背风区压强测量，测力试验底部压强测量，低密度风洞测压试验等均存在大量微压测量任务。

用石英真空计已能测量0.2kPa-2kPa之间的压强。目前在风动中测量压强要用一细长管道将气体引出，管道长为1.3m，内径为0.9mm。风动中测量压强是要测量压强的分布，即多点测量，这些是与通常的压强测量不同的。多点测量是将石英晶振安装在一个集成箱中，由细长管道通到被测量的位置。晶振测量电路将测量到的晶振电压与电流送到统一的主控板，该主控板就存有32个位置的压强值。

由于在被测压强位置与晶振之间存在细长管道对测量会有影响，其一是使时间常数增大，读数变化缓慢，实验测量在300Pa压强时，时间常数约55秒，在风洞测量中此时间常数仍可接受。其二是细长管道会使测量下限升高。因为晶振位置总会存在一定的放气与漏气，若放气与漏气量为Q，则在晶振处的 很低压强应为P=Q/S，Q为晶振处的放气与漏气量，S为经过细长管道后晶振处的有效抽速。实验测得经细长管道后 很低指示压强为10Pa，这对测量大于0.2kPa压强管道引起了下限的增加，对测量并无很大影响。石英真空计用于大于0.2kPa压强，测量精度约为15%。