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发布时间:2022-08-08 11:25:00 作者:潽拓光电
广州潽拓光电科技有限公司--瑞士英福康真空计配件维修;
真空计工作原理、工作特性及使用热偶真空计是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。一、热偶真空计工作原理热电偶真空计的构造如图1所示,气体分子承担的热传导量与压强成正比是热电偶真空计的工作原理。
热电偶真空计的构造图金属圆筒内部设有一根灯丝,两端连接电极,通电后灯丝会发热。灯丝的热量会通过气体分子碰撞灯丝、热辐射和固体热传导等方式被夺走。设单位时间内以上述三种方式夺走的热量分别为Qg、Qr、Qs,则平衡状态下以下公式成立:式中Q———单位时间灯丝放出的热量;R———灯丝的电阻;I———灯丝的电流。
气体的平均自由程比灯丝的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为式中α———适当常数;Λ———分子的热传导率;d———灯丝直径;a———灯丝长度;T———灯丝温度;T0———金属圆筒的温度;p———气体压强。Qs和Qr可以分别表示为式(4-8)代表电极的热传导,其中S是灯丝的断面积,κ是固体的热传导率,L是电极的长度。式(4-9)代表热辐射,σ和ε分别是玻尔兹曼常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则式(4-8)和式(4-9)为常数。
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如果用I20R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式(4-6)可以表示为I0是灯丝的电流,不断弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。A是不依存压强的常数。如果已知灯丝的电阻R、电流I0及常数A,则可以通过式(4-10)求得压强p。热电偶真空计的压强测量范围在0.1~300Pa,具有以下优点:(1)结构简单、容易制造、容易操作;
工作温度、工作电压较低;(3)所测读数为全压强,并且能够实现远距离的连续测量。但是,热电偶真空计具有受温度影响大、读数时间滞后、读数因气体种类而异、读数需要校准等缺点。热偶真空计工作特性 热偶真空计是相对真空计,其压力-热偶电势对应值难以用计算方法准确求得,因此,常常在标准环境条件下,用真空计或用校准系统经校准确定。
在一定的加热电流条件下,配用DL-3型规管的热偶真空计对干燥空气的校准曲线如图4-9和图4-10所示。图4-9DL-3型热偶真空计的校准曲线(10~10-1Pa)图4-10DL-3型热偶真空计的校准曲线(102~10Pa)由图4-10不难看出,当压力从0.1MPa开始逐步降低(图中未画出)的一段压力范围内,热偶电势E一直在零值附近,其原因是气体分子多,传导走的热量多,因而热丝温度低,热偶电势E亦低,而且此时(λ≤r1)热传导与压力无关,故热偶电势E不变化(少量变化是气体对流引起的)。
石英真空计应用
在风洞中的应用
风洞模型测压试验是获得气动载荷分布和气动特性的重要方法之一。常规高速超声速风洞测压在高于2kPa高压已能够获得较好的精度,但在1kPa以下压强暂无法获得高精度的测量结果。而模型背风区压强测量,测力试验底部压强测量,低密度风洞测压试验等均存在大量微压测量任务。
用石英真空计已能测量0.2kPa-2kPa之间的压强。目前在风动中测量压强要用一细长管道将气体引出,管道长为1.3m,内径为0.9mm。风动中测量压强是要测量压强的分布,即多点测量,这些是与通常的压强测量不同的。多点测量是将石英晶振安装在一个集成箱中,由细长管道通到被测量的位置。晶振测量电路将测量到的晶振电压与电流送到统一的主控板,该主控板就存有32个位置的压强值。
由于在被测压强位置与晶振之间存在细长管道对测量会有影响,其一是使时间常数增大,读数变化缓慢,实验测量在300Pa压强时,时间常数约55秒,在风洞测量中此时间常数仍可接受。其二是细长管道会使测量下限升高。因为晶振位置总会存在一定的放气与漏气,若放气与漏气量为Q,则在晶振处的 很低压强应为P=Q/S,Q为晶振处的放气与漏气量,S为经过细长管道后晶振处的有效抽速。实验测得经细长管道后 很低指示压强为10Pa,这对测量大于0.2kPa压强管道引起了下限的增加,对测量并无很大影响。石英真空计用于大于0.2kPa压强,测量精度约为15%。
inficon真空解决方法
inficon真空给予了一套紧密、便携式的泵组用以校准。这套泵组由一套涡轮增压分子泵组(例如,HiCube80Eco)和一个选用夹层玻璃天然珍珠喷砂加工工艺的不锈钢板箱体构成。
涡轮增压分子泵组由一个带Holweck级的(HiPace80)涡轮分子泵和一款干试缩小气动隔膜泵(MVP015-2)构成。这一款泵组的抽速很高可达67l/s而且很终真空度可达110-7hPa。不锈钢板箱体上面有六个真空计联接口。
假如顾客规定,2个参照规范(1hPa和1,000hPa)和一个冷阴极真空计可以内置在这里套系统软件中。例如,工作压力操纵和归零调节的内置。全部的真空计都开展了预校准而且合乎德国认证(German:DeutscheAkkreditierungsstelle–DAkkS)的规范。这就促使校准真空计可以被合理的执行而且合乎法律法规和标准规定,而且这一规范是一个化上认同的规范。除此之外,许多四台真空计能安裝在不锈钢板箱体上与此同时开展校准。
分子泵的基本原理由是使用汽体分子结构和快速活动的电机转子相互之间撞击而将空气分子结构带出系统软件外。汽体分子结构撞击到定子的表层反跳后,可能在其原先的热分子结构速率以外得到一部分与电机转子表层健身运动方位平行面的附加速率。
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