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发布时间：2022-08-18 08:37:00 作者：潽拓光电
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特点：
Turbo-V 1K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为薄膜沉积设备精心设计的分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化，可以在高流速的气氛围下和温度极高的环境中工作。另外，可通过远程机架控制器或泵机一体式控制器来驱动泵。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 1K-G 成为了镀膜工业的真空解决方案。
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Osaka日本大阪真空曾经制造出世界上**台复合涡轮分子泵，也制造了当时世界上*大的涡轮分子泵。对不同用途的分子泵（比如耐高温，耐震动，耐腐蚀，耐fang射线）拥有丰富的设计经验和应用经验。
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立式涡轮分子泵的优点是：真空系统的结构简单，在改装旧有扩散泵系统时可直接替代扩散泵而无须改动真空系统结构；其次是泵内只有一组涡轮叶片，因而价格较低廉
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