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inficon真空的校准泵组广泛应用于各种生产过程中，并提供可靠和高质量的真空度测量。

inficon真空校准泵组产品优势一览：

■比外部校准价格低

■符合国内和国际的标准

■便携式在线校准

■可多台设备同步校准

1)平均自由程是一个气体分子在连续两次碰撞之间可能通过的各段自由程的平均值。

什么是真空计校准装置？

众所周知，不同建设和工业生产的产品使用环境是不同的，比如载人航天器在太空、在高空、核潜艇在深海……这些产品的研制试验都离不开真空环境。真空环境条件模拟是否真实、到位？就需要真空计发挥作用。然而，这些真空计测试数据否准确，就需要用我们的“尺子”——真空计校准装置来量一量，才能保证真空计测量结果的准确可靠。

便携式真空计校准装置技术负责人介绍，真空计一般都是应用在真空环境模拟试验装置上，这些装置可都是“大家伙”，按照传统的计量校准方法，需要将上面使用的各类真空计拆下来送到实验室进行定期校准，不仅增加了拆装的工作量，运输过程中还存在损坏的风险。

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.inficon真空计的特点？答：inficon真空计是一种真空计，可以给出被测压力的值。但inficon计只能测量被测气体中性气体的分压强，不能测量其中可凝性气体的压强。

影响热传导真空计测量下限的原因是什么？答：热丝的热量除了气体传热外，还可以沿着热丝本身向两端传热，即固体传热；还可以以辐射的方式传热，这两种传热方式与压力无关，当压力较低，气体的传热量明显低于固体的传热和辐射传热时，就不能反映压力的变化了，即达到了测量的下限。

谱拓科技唯实致力于提供的真空控制、检测仪器、光机电一体化设备，以的产品和服务为客户创造价值。以技术创新为手段，以产品专门化、规模化生产为基础，努力发展成为国内仪器设备，特别是在真空领域具有竞争力的生产、服务型企业。作为现代高新技术企业，

谱拓科技唯实以创新、诚信、有效为价值观，在稳固、发展现有产品的基础上，大力发展真空产品，逐步形成“以现有产品为基础，以真空产品为未来”的发展格局。热忱欢迎国内外各界人士前来洽谈，开展各种形式的合作和交流，为发展科技事业和国民经济作出更大的贡献。· 

国内在90年代也有人研制了石英真空计，所用电路是以晶振本身为频率控制元件的自振荡，自跟踪电路。测量范围为0.1Pa~2×105Pa。 很近我们研制的DL-10A型石英真空计采用FC135晶振，测量范围为5×10-1~105Pa。目前已有石英真空计产品，

例如：CC-10真空计测量范围是1.33×10-2Pa到大气压，M-320XG晶振真空计测量范围是1X10-1Pa到大气压，DL-10A型石英真空计测量范围是5X10-1Pa到大气压。其优点为：传感器体积小，耗电功率小（约1W），精度较高（约10%），量程较宽（10-1~105Pa）等。

PART 01工作原理

石英晶振在谐振时，其谐振频率或谐振阻抗均与周围气体压强有关，二者均可用来测量压强。用谐振频率与压强有关的特性做真空计精度高，但测量范围较窄，它可以用作标准真空计或应用于要求精度高的真空测量领域。用谐振阻抗与压强有关的真空计测量范围较宽，可达0.1-105Pa，适合做工作用真空计。晶振在谐振时，同时自身也存在机械振动，振动时将受气体阻力，阻力的大小与气体压强有关，因而晶振的电学阻抗也与气体压强有关。

▲DL-10A谐振阻抗测量电路

近似地谐振阻抗Z为：Z=R×VAE/VDE。其中VAE是AE两点间的电压，VDE是DE两点间的电压。测量了阻抗，由阻抗与气体压强的关系曲线，便可知道气体的压强。例如，DL-10A型石英真空计采用FC135晶振做传感器，其阻抗与压强的关系如下所示：▲FC135晶振谐振阻抗与压强的关系

图中纵坐标△Z是谐振阻抗Z与固有阻抗Z0之差。固有阻抗是压强远小于下限即小于10-3Pa的阻抗。横坐标是压强，由图可见，在压强小于100Pa，△Z与P近似成线性关系。在104-105Pa之间，△Z与P的开方成正比。我们将上述曲线存在单片机中，测量△Z值，由数码管显示对应的压强值，这就是石英真空计的工作原理。

DL-10A设置一个零点调节按键，当压强小于10-3Pa时，按一下该按键，单片机执行中断程序，将此时的Z值存在单片机的EEPROM中。DL-10A还设置一个大气调节按键，当传感器暴露在大气时，按一下该按键，单片机执行另一中断程序，将此时的Z值存在单片机的另一EEPROM中。当仪器长时间不用或环境温度变化较大时，应进行零点调节及大气调节。