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发布时间:2022-09-07 09:41:00 作者:潽拓光电
广州潽拓光电科技有限公司——TV1001Agilent分子泵维修升级
目前干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段,很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐蚀技术、降低排气口温度、增大转子面积利用率等问题仍然很棘手,当抽取一些活泼气体时,由于排气温度高,安全性也是需要设计中考虑的,用在需要控制音量的场合,如何降噪也要成为研究方向。但其***的性能决定了它一定会在真空获得设备行业占主导地位,就像现在螺杆压缩机在行内的统治地位一样。
分子泵轴承为什么会烧毁
原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘
解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘
有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?
原因:防护网,前级管道
解决方法:优化系统设计
真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?
原因:油池或密封不良
解决方法:检查油池
正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形
原因:过热,负载大
解决措施:检查冷却系,检查系统
有下面这些异常一定要尽早检修分子泵是高速旋转的机械,轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废;而当轴承工作状态不良时,会有一系列的现象,如分子泵无法启动,运行噪音增大,温度或功率异常增加等,在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后,应尽快停泵,送到维修中心进行检修。
涡轮分子泵也是一种机械式真空泵,通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的,在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比,从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高,可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度,其真空度高低视泵不同略有差异,一般在1-200Pa之间,可采用机械泵作为前级泵,高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高,通常用中频电机带动,中频电源的频率在300-400Hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。
CombiNEG系列采用安捷伦科技(Agilent Technologies),StarCell离子泵抽气单元和赛斯(Saes Groups)的烧结型非蒸散型吸气剂(NEG)。安捷伦真空(原瓦里安真空)是离子泵,赛斯是NEG吸气剂泵的始创者。两家公司累计超过100年的真空经验、各自的技术和紧密的合作是这一革命性的产品问世的基础。
Agilent 1260 Infinity 脱气机 G4225A 型号,由四个单独的真空腔以及半渗透性管、真空泵和控制组件组成。打开真空脱气机的电源开关后,控制组件就会开启真空泵,真空泵可使真空腔内产生低压。其压力由压力传感器测定。通过控制空气入口过滤器漏率和使用压力传感器调节真空泵,真空脱气机可以保持低压状态。
安捷伦真空:提供适合电子显微镜的全套真空产品安捷伦真空对电子显微镜之类的聚束系统真空应用有着非常丰富的经验,为了满足SEM、TEM系统高真空、低电磁噪声和低振动的要求,开发了一系列的产品。
安捷伦其他常见应用:
1.分析(质谱分析、电子显微镜等)
2.半导体(电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等)
3.光学/玻璃(热保护,增透、反射、光学滤光膜)
4.镀膜(表面保护,装饰涂料,显示器,屏幕)
5.真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金、)
6.泄漏检测(真空系统、车辆的油箱,安全气囊
7.研究实验(医学成像、核粒子物理,核聚变研究,激光应用和许多更多)
8.灯生产行业及相关
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