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pfeiffer分子泵维修价格择优推荐

发布时间:2020-07-12 07:11:00        作者:潽拓光电







    广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业,由从事多年真空系统开发,真空设备技术研发,维修工程师,工程师组成的一支技术实力***,充满活力的高素质团队。



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集成型气镇阀和HV安全阀

适于所有粗真空和中度真空范围的应用

带磁性接合器的腐蚀性气体机型

特点:

通过不同的电动机电压可实现更广泛的使用







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HiPace Plus 系列涡轮分子泵是为电子显微镜和高duan质谱行业量身定做的产品。

HiPace C 系列涡轮分子泵适合腐蚀性气体环境。

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镀膜:光伏、CD/DVD/PVD

工业:灯管制造

研发:纳米技术、生物技术

分析仪器:电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析

半导体:PVD、CVD、Beamline、Inspection


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旋片式真空泵的工作原理

     在气镇操作的情况下,一个孔向外侧打开,让气体流入前侧的密封吸入室。因此,在压缩抽吸阶段,在相对低的压缩下达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始冷凝前排出置换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力,高于无气镇操作所达到的压力。

工作液、油

     泵油,也成为工作液,在旋片式真空泵种泵油有多个任务要求执行。它润滑所有移动部件,填充的出口

阀下的固定空间以及缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工作室之间的间隙,此外还通过热传递确保jia温度平衡。






多级泵

     旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现相对更低的极限压力。此外,气镇对极限的影响较低,因为气镇仅允许在高压力级使用。


真空安全阀

    根据所涉及的泵类型,旋片式真空泵可能配备真空安全阀。真空安全阀在有意或意外停顿的情况下

将泵与真空室隔离,并使用置换气体对泵系统进行排气,防止油液上升到真空室中。在开启泵后,一旦泵中

的压力已达到真空室中的近似压力,它稍作延迟就打开。






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分子泵性能技术参数

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入口法兰分LF喝GF两种,大小有110、160、200、250和400四种;出口法兰为KF,大小有25、40、50和100四种



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