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广州潽拓——***维修PFEIFFER DUO 3

双级旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋转式排量泵。泵系统包括一个壳 体 (1)、一个偏心地

安装的转子 (2)、在离心力和弹力作用下 径向移动的叶片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口阀（如配置）被设计为真空安全阀，该阀在操作过程中始终处于打开状 态。

工作室 (5) 位于壳体内，并受到定子、转子和叶片的限 制。偏心安装的转子和叶

片将工作室分为具有可变容积的两 个独立舱。当转子转动时，气体流入扩大的吸入

室直至其被 第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩，直到出口阀冲破 大气压力

而开启。出口阀是油封的。当阀打开时，少量的油进入吸入室，不仅能够对其进行

润 滑，而且能够将叶片与壳体（定子）密封开来。

旋片式真空泵的工作原理

在气镇操作的情况下，一个孔向外侧打开，让气体流入前侧 的密封吸入室。因此，

在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下 达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始

冷凝前排出置 换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力 高于无

气镇操作所达到的压力。

工作液、油

泵油，也称为工作液，在旋片式真空泵中泵油有多个任务要 执行。它润滑所有移动

部件，填充出口阀下的固定空间以及 缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工

作室之间的间 隙，此外还通过热传递确保温度平衡。

多级泵

旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现 相对更低的极限压力。

此外，气镇对极限压力的影响较低， 因为气镇仅允许在高压力级使用。

真空安全阀

根据所涉及的泵类型，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。 真空安全阀在有意或意

外停顿的情况下将泵与真空室隔离， 并使用置换气体对泵系统进行排气，防止油液

上升到真空室 中。在开启泵后，一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压 力，它

稍作延迟就打开。

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广州潽拓光电——普发控制器维修 PFEIFFER VACUUM

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广州潽拓光电——普发质谱仪分子泵保养Splitflow310-3P

  PFEIFFER SPLITFlow 310 3p 德国普发SPLITFlow 310 -3p 抽速：210 L/S 转速：60000 r/min SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。因此，在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下达到打开出口阀所需的压力。 分子泵泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。 普发SPLITFlow 310 3p涡轮分子泵 对氢为102～104； 对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。

设备运行时要注意保养，

-定期对冷却水系统进行维护，

-以防止水垢的大量凝结，

-影响冷却效果。

-真空腔体内应保持清洁，经常清除杂物。

   plitFlow系列的涡轮分子泵可以用一台泵同时对质谱系统的两个或三个腔体进行抽气。

分子泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。

压缩比除与泵的级数和转速有关外，现货SplitFlow310，还与气体种类有关。

分子量大的气体有高的压缩比。

  我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等***分子泵,真空泵,真空计***维修保养/销售等业务。11、当泵抽除含有颗粒、尘埃的气体时，在泵口前应装一个合适的过滤器。

   这个特点，可用于安装位置受限制的地方。 我公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业，由从事多年真空系统开发，真空设备技术研发，维修工程师，工程师组成的一支技术实力***，充满活力的高素质团队。伴着严谨的内部项目实施管理，控制制流程，确保每一项真空设备的工艺技术***性和质量的优佳性、可靠性。体积流量随压力增加而减少，并在***da压缩比$K_0$时达到0值。

涡轮分子泵的优点：

 (1)清洁，无油蒸汽返流 涡轮分子泵可不用任何阱，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了，对于小泵多用油脂润滑，也有用空气轴承的，但磁悬浮轴承用得较多。pfeiffer分子泵维修电话pfeiffer分子泵维修电话pfeiffer分子泵维修电话我公司位于广东省广州市白云区，主营业务包括：分子泵，真空泵***维修保养售后技术服务，真空系统技术服务，电子设备工程安装服务、技术进出口、商品批发贸易。近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵

 (2)使用方便 在许多应用中，涡轮分子泵可不用高真空阀门或粗真空阀。只是简单地一按电钮，泵便能开始工作。从大气压力可降到极限压力。这种系统可以通过涡轮分子泵进行粗抽，可一直加速到工作速度为止。这样就可以不用阀门、管道、阱、阀门控制器等真空元件。泵不工作时，油窗内几乎看不到油，都进入泵体内，油位以泵运转时为准。同时也消除了这些元件所带来的故障。因此涡轮分子泵系统所占的空间小，而且涡轮分子泵的安装方向不受限制，可在任意方向安装（用油润滑的泵除外，它只能在垂直 5 范围内工作）