莱宝真空分子泵保养优惠报价 广东潽拓光电

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广州潽拓光电——磁悬浮分子泵的振动抑制

  2000 L 磁悬浮分子泵研制中，遇到复杂振动问题：转子弯曲模态共振; 陀螺效应造成动力学失稳; 叶轮叶片导致转子颤振; 成因复杂的机电耦合模态振动。在此，将介绍2000L五自由度磁轴承涡轮分子泵样机研究进展，重点关注磁悬浮分子泵试验研究中遇到的各种复杂振动抑制问题。它们同时出现，严重影响转子稳定性，给振动抑制带来困难，需进行精细的控制器设计。控制器中，对不同振动采用不同方法抑制：陀螺效应依靠交叉反馈控制; 弯曲共振、分子泵叶轮叶片颤振及机电耦合模态振动，依靠各种不同的控制器传递函数相位方法。试验验证了方法的有效性，分子泵平稳升速到24000 r/ min，样机达到了设计真空性能指标。

  在分子泵转子设计中，转子一阶弯曲模态频率已经尽量保持远离转子da工作转动频率即400 Hz,但其对转子振动的影响依然不能忽略，尤其在高速运行时，陀螺效应造成一阶弯曲振动反向涡动模态频率下降明显。我们对技术的运用,确保了在体积尽可能小,成本尽可能低,而可靠性很高的情况下仍能获得优异的性能指标。通常认为传统轴承支承的转子，反向涡动很难被激发，但对电磁轴承转子系统，经常可观察到反向涡动被激发出来。因此，在转子工作于整个转速范围内时，均应为弯曲模态振动提供足够阻尼，避免一阶弯曲正向或反向涡动被激发。事实上，如果电磁轴承振动控制不考虑弯曲模态的阻尼,转子静态悬浮时就会把转子弯曲振动激发出来。

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      Leybold TW250德国莱宝分子泵采用高速巴顿陶瓷珠深沟轴承，抽口直径：DN100ISO-K，抽气速度：230L/S.真空度：3.7*10负7mbar。广州潽拓光电提供***的维修与保养。

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