爱德华进口分子泵维修高***的选择

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广州潽拓光电科技——

气体输送能力强

  大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。

分子泵清洗的方法如下：

1．关掉分子泵，进行排气。

2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。

3．拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等

4．拆掉润滑的油包

5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。

潽拓——爱德华进口分子泵维修，分子泵

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广州潽拓光电科技有限公司维修EDWARDS爱德华EXT75ID坚持如下服务：

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EDWARDS STP-iXA3306CV分子泵特性与优势：

与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%

可以配置为运行腐蚀性制程

紧凑型设计，包括完全集成的控制器

创新性自传感磁力轴承系统

数字化 5 轴控制

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