企业等级: | 商盟会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 广东 广州 |
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发布时间:2020-09-13 18:13:00 作者:潽拓光电
我司从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医liao,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等***分子泵,真空泵,真空计***维修保养/销售等业务。装电源时,按电机标牌的规定接线,应注意电机旋转方向与支座上箭头方向一致6。
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EXT255H爱德华涡轮分子泵
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Edwards?英国爱德华分子泵是******da的真空设备商,在工业、制药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用的真空技术占有领导地位。日本Seiko Seiki曾是清洁和干燥真空技术的**,STP系列磁悬浮分子泵1983年在全世界范围内开始广泛销售,如今被Edwards收购。涡轮分子泵广泛用于高能加速qi、可控热核反应装置、重粒子加速qi以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
Edwards EXT涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。EXT使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承,可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作,同时将维护需求降至**。
Edwards EXT255H英国爱德华分子泵维修,Edwards EXT255H爱德华涡轮分子泵进气法兰口DN100IS/100CF,出气法兰口DN25,抽速可达到195l/s,转速为60000 rpm,极限压力》5X10-9Pa,
我司从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医liao,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等***分子泵,真空泵,真空计***维修保养/销售等业务。伴着严谨的内部项目实施管理,控制制流程,确保每一项真空设备的工艺技术***性和质量的可靠性。
广州潽拓光电——***维修Edwards EXT255H分子泵
优点
涡轮分子泵可不用任何阱,按操作规程工作,就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境,且不含有任何碳氢化合物。广州潽拓光电——EDWARDSEXT250HI分子泵维修保养EdwardsEXT涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了,对于小泵多用油脂润滑轴承,也有用空气轴承的,但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现,使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流,使它真正成为一种清洁的干式高真空泵气体输送能力强
由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了,对于小泵多用油脂润滑轴承,也有用空气轴承的,但磁悬浮轴承用得较多。1x10E11He1x10E6H25x10E4出口法兰(前级泵口)DN25NW前级泵(推荐)XDS10或RV12(或其它更小的,依应用而定)放气口1/8inchBSP吹扫净化口1/8inchBSP。近几年来也有不少干式前级泵出现,使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流,使它真正成为一种清洁的干式高真空泵 气体输送能力强 大多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。功能和优势:***的转子技术***da的制程灵活性无油,低振动高度可靠免维护***的控制器设计自动调整自行诊断功能直流电机驱动无电池运行紧凑型设计。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。
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涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。nEXT泵将我们的成熟轴承技术(油润滑的陶瓷下方轴承和干燥的永磁性上方轴承)以及采用新分子分级技术的改进转子设计结合在一起,以提供改进的抽速和压缩比,同时提供真正的用户可维护性。涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速qi、可控热核反应装置、重粒子加速qi以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
优点:
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。其产品和服务在半导体、平板显示器、LED和太阳能电池的制造流程中不可或缺。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。
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真空泵安装指导
1、泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。
2、泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,确保泵运转平稳,振动小。
3、泵与系统的连接管道应密封可靠,对小泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小泵可采用真空胶管连接,管道管径不得小于泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应清除管道中焊渣,严禁焊渣进入泵腔。)
4、在连接管路中,用户可在泵进气口上方安装阀门及真空计,随时可检查泵的极限压力。
6、泵通电试运转时,须取下电机皮带,确认泵转向符合规定方向方可投入使用,以防泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向)
7、对于有冷却水的泵,按规定接通冷却水。
8、如泵口安装电磁阀时,阀与泵应同时动作。
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