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pfeiffer分子泵维修价格维修电话

发布时间:2020-10-27 10:47:00        作者:潽拓光电







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概要:

涡轮分子泵是用于将真空容器内部排放呈高度真空的真空泵,通常和辅助泵配套使用。

主要用途:半导体制造装置、产业装置、研究开发设备、其他超高真空设备等。

标准规格如下:

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又称为 Varian Turbo-V 551分子泵,是意大利瓦里安经典之作,广州潽拓光电公司***维修Varian TV551涡轮分子泵,Varian Turbo-V 551涡轮分子泵的转速为42000rpm

安捷伦Turbo-V 551涡轮分子泵

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广州潽拓光电——真空计 BPG400 and PCG 402 的工作原理

1、真空计 BPG400 and PCG 402 都是皮拉尼(Pirani)真空计2、皮拉尼(Pirani)真空计原理低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。广州潽拓光电——法国ALCATEL阿尔卡特真空泵真空泵的作用:真空泵是用来抽吸空气,以便在密闭容器内形成一定的真空度,用于真空保鲜、真空搬运、真空成型、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮、真空干燥、真空冶炼、真空除气等工艺过程。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。    原理

       金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。涡轮分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体,并可用作扫描电子显微镜(SEM)的***泵。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立  

       Q = I2R = Qg + Qr + Qs (1)

       Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。        气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为

    Qg = αΛπda(T-T0)p (2)        T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。 剩下的Qs和Qr可以分别表示如下

       Qs = Sκ(T-T0)/L (3)        Qr = πdaσε(T4-T04) (4)         (3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,L是电极的长度。(4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为

      I2R = Ap + I02R (5)        A = αΛπda(T-T0) (6)        I0是压力为0的时候细线的电流, 是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。A式是不依存压力的定数    如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。


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