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BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修，爱德华STP-iXA3306CV分子泵

BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内***的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 STPiXA3305 系列的新技术）。

BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于BOC STP-iXA3305 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。针对一些特殊应用，标准油品的某些弱点表现为：1，高温时的稳定性较差。

BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势：

与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%

可以配置为运行腐蚀性制程

紧凑型设计，包括完全集成的控制器

创新性自传感磁力轴承系统

数字化 5 轴控制

BOC STP-iXA3306分子泵用途：

溅射

离子注入源，射束线泵送和站

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物）

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

nEXT240D是一款采用混合轴承的新型复合涡轮分子泵，用以代替EXT255H和EXT255DX涡轮分子泵，其接口法兰有ISO100和CF100两种，对N2的抽速为240l/s。nEXT在以前产品的基础上改进轴承技术，下轴承为油润滑陶瓷轴承，上轴承为*磁悬浮轴承，使得用户就可以自行维护；同时改进转子设计，增加一个分子拖曳级，提高了泵速和压缩比。nEXT泵的电机驱动电压为24~48V DC，与DX泵和TIC控制器兼容，这样一台nEXT240D泵、一台TIC控制器、一个空冷或水冷附件，再选用一台合适的前级泵就可以组成一套基本的抽真空系统。（2)泵的传动方式真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。

结构特点

（1)泵总体结构型式

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。

立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重xin较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。

卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。BOCSTP-iXA3306分子泵的高度等于STP-XA2703/XA3203的高度，也等于BOCSTP-iXA3305系列（不带其电源供给(iPS-1200)）的高度。这种泵结构重xin低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。

泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重xin较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

（2)泵的传动方式

真空泵的两个转子是通过一对齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。爱发科ULVAC真空泵株式会社ULVAC作为追求真空极限（UltimateinVacuum)的真空技术先驱，以电子技术及信息通信技术为首，在能源、环保、运输、食品、化工、生物工程等广阔的领域，以生产设备为中心、提供***的真空技术产品。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的zui大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重xin偏向电动机和齿轮箱一侧

性能特点

● 转子设计技术***，大大提高抽气速率和压缩比。

● 日常维护用户就可以进行，无需复杂工具，拆卸简单。

● 设计紧凑，性能***，利于系统集成。

● 与Edward* TIC涡轮仪表控制器兼容，可以连接3个真空规，无需再配备其它真空规控制器。

● 通过RoHS认证和CSA/UL认证。

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   PFEIFFER Hipace 80分子泵 维修（PUTUOVAC VACUUM）

广州潽拓光电——Pfeiffer Hipace 80/TMH 071 系列的工作原理

        电动机/驱动器能够提供旋转频率高达 1,500 Hz (90,000 rpm) 的无刷直流电 动机用于驱动转子。这使得叶片速度是泵送气体所必需的。涡轮分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体，并可用作扫描电子显微镜(SEM)的***泵。如今，驱动器通常都是直接连接到泵上。电源是 24、48 或 72 伏的直流电，通过外部电源包或集成在泵的电子单元中的 电源包产生电流。

广州潽拓光电科技出售普发Pfeiffer Splitflow 310-3P分子泵

   德国普发SPLITFlow 310 -3p 抽速：210 L/S 转速：60000 r/min SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。 分子泵泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。如果真空泵需24小时运转，必须每半年对真空泵进行一次保养维修。 普发SPLITFlow 310 3p涡轮分子泵 对氢为102～104； 对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。

   PFEIFFER SPLITFlow310 3p 整体310比290的长度要长！可以抽的接口面积要da！ SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。 为便携式分析系统开发的小型涡轮分子泵的抽速范围介于 10 l/s 到 0.1 l/s 之间。 涡轮转子都用单独一块铝合金整体加工而成，重量xiao化， 分子泵可以在360度范围内以任意角度工作而无需任何调整? SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。VarianTV551Model969-8833withConFlat8。