Leybold复合分子泵启动*** 广州潽拓光电公司

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leybold莱宝——涡轮分子泵有超高真空低能耗，气体输送能力强，循环时间短使用时间长的优点。在电子、半导体工业，包装、印刷、食品工业、塑料及橡胶工业、制药工业、医院及实验室装置、物流技术、环保工程、汽车工程、木工机械等有着广泛的应用。iH系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的PECVD和LPCVD制程）提供了高可靠性。我们承诺对国际***品片分子泵及其驱动器维修及销售，各类PLC板，人机界面，各型号干泵油泵等维修工作

LEYBOLD莱宝—ITR 90是复合全量程真空变送器。它将BA热阴极电离传感器与皮拉尼传感器相结合，可测量的真空压强范围为5×10-10 mbar到1000 mbar（适用于不可燃的气体与气体混合物）。ITR 90变送器可选带集成显示器或带Profibus接口的版本。 ITR 200 S变送器是基于成熟的ITR 90变送器设计，采用双阴极结构，延长了变送器的使用寿命， 提高了运行可靠性。ITR200 将BA热阴极电离传感器与皮拉尼传感器相结合，可测量的真空压强范围为5×10-10 mbar到1000 mbar（适用于不可燃的气体与气体混合物）。ITR200变送器可选带集成显示器和带Profibus接口的版本。 客户得益：- 连续测量压强，范围从10-10 mbar到大气压；- 在10-2 mbar到10-8 mbar压强段，测量的重复性好；- 由集成双丝皮拉尼真空规控制开/关顺序，优化了镀钇的铱阴极的使用寿命；- 设计紧凑；- 电极几何结构牢固；- 采用电子轰击有效除气；- 传感器装配简单；- 可选连接附件用于高温烧烤时测量真空度；- 量程覆盖13个数量级（全量程规）；BOC爱德华EXT406PX泵性能特点真空系统简单*可以选用较小的前级泵。- ITR 90型变送器有内置显示器的版本，供独立运行使用；- 有RS 232 C接口。

广州潽拓光电——Pfeiffer TMH262 涡轮分子泵是德国Pfeiffer Vacuum公司设计制造的一款分子泵，Pfeiffer T TMH262的转速为60000rpm, 其对应的频率为1000Hz，标准的Pfeiffer TMU261分子涡轮泵对应的极限真空为5.0*10-10mbar。潽拓光电科技---真空泵还有那些原理：请确保排气管道适合真空泵气体的排放。

      都是基于德国DIN 28 428的测试标准，使用不锈钢CF接口，烘烤后48小时测得的。

Pfeiffer TMH262 涡轮分子泵对应的分子泵控制器为Pfeiffer TC600或Pfeiffer TC750（对应电压为48V DC）

，或者更高的配Pfeiffer TCP350。

德国爱德华 EXT255H真空泵

产品介绍：

          当气体分子从某抽气通道的外圆侧进入时，它在通道内四个壁面间不停的碰撞，当碰在静止的壁面时，仅通过反射改变运动方向；当碰撞到运动的壁面时，除改变运动方向外，还可获得碰点的定向速度。由于每个抽气通道中有两个运动的壁面，且面积较大，故有较高的拖动效率。而电梯上只有一个运动的平面，另外不同于电梯运动方向和人的被拖动方向一致，气体分子在任一螺旋形的抽气通道中与动轮碰撞时所获得的定向速度或动量应该沿着该点切线方向，与螺旋通道的方向不一致，但该方向上的速度或动量在通道的螺旋方向上存在一分量（投影），该分量迫使气体分子终能沿着螺旋方向从外圆被拖动到内圆一侧，从而实现了抽气作用。从本质上讲分子增压泵的拖动作用与电梯的拖动作用是完全一样的。并且可以肯定，这种拖动作用产生的抽速不存在物理上的极限，而终受到制造技术的限制。检漏各种需要无油干燥的真空环境和需抽取不能被污染的气体的用途隔膜泵(MVP)技术参数。

优点

     涡轮分子泵可不用任何阱，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了，对于小泵多用油脂润滑轴承，也有用空气轴承的，但磁悬浮轴承用得较多。ITR90变送器可选带集成显示器或带Profibus接口的版本。近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵

气体输送能力强

大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。2、另外也是由于真空泵油造成的真空度低的情况，就是真空泵油乳化变色，或者过脏。