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发布时间：2020-12-07 16:14:00 作者：潽拓光电
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涡轮分子泵工作原理
包括转子和定子叶片排列的泵送作用是基于将脉冲从快速旋 转的叶片传输给被泵送的气体分子。当阀打开时，少量的油进入吸入室，不仅能够对其进行润滑，而且能够将叶片与壳体（定子）密封开来。与叶片碰撞的分子被吸 附在叶片上，然后在一段时间后再次离开叶片。在该过程 中，叶片速度被加到热分子速度上。为确保由叶片传输的速 度成分不因与其他分子碰撞而损失，分子流必须在泵中占主 导地位，即：平均自由程必须大于叶片间距。
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