企业等级: | 商盟会员 |
经营模式: | 生产加工 |
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发布时间:2020-12-31 07:19:00 作者:潽拓光电
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功能和优势
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-紧凑型设计
-占地面积小
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应用
-金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物)
-电子回旋共振
-(ECR) 刻蚀
-光致抗蚀剂脱模
-晶体/晶膜生长
-晶片检查
-负载锁真空腔
-科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
-高能物理:射束线
应用:融合系统、回旋
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