德国莱宝分子泵主机分子泵维修费用【潽拓光电】

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广州潽拓光电——leybold Turbovac 340MCT莱宝悬磁浮分子泵

   涡轮分子泵是获取高真空的一个重要设备，被广泛应用于高真空场合。相较于传统滚珠及油膜轴承，电磁轴承作为一种新型轴承，因其非接触、无摩擦、低功耗、维护成本低、动力学可控并可对转子动不平衡进行主动控制等特殊优点，在工业应用上前景广阔。对真空设备而言，非接触悬浮是很有吸引力的。电磁轴承应用于涡轮分子泵，可实现分子泵的无油、无磨损运行，运行安静，振动很小，尤其适合半导体工业等超净高真空应用场合。在此，将介绍2000 L 五自由度磁轴承涡轮分子泵样机研究进展，重点关注磁悬浮分子泵试验研究中遇到的各种复杂振动抑制问题。这些振动问题由各种因素所导致，包括泵转子的弯曲模态振动，陀螺效应造成的转子动力学失稳，泵叶轮上叶片的颤振及一个由转子与分子泵永磁电机共同导致的复杂振动模态。长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足,，导致吸气室和排气室隔离不严，从而引起真空泵的抽真空性能下降，这时应当更换旋片和弹簧，并清洗转子和泵腔。这些因素同时出现，并且均能对泵转子的稳定性造成破坏，必须在磁轴承控制器设计中同时解决，给控制器的设计带来大的困难。

广州潽拓光电——磁悬浮分子泵的振动抑制

  2000 L 磁悬浮分子泵研制中，遇到复杂振动问题：转子弯曲模态共振; 陀螺效应造成动力学失稳; 叶轮叶片导致转子颤振; 成因复杂的机电耦合模态振动。问题一：漏油问题问题解决：旋片式机械真空泵***常见的故障之一，主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个位置上，其主要原因是真空泵使用时间过长而引起这些部位老化，密封失效，从而导致漏油。它们同时出现，严重影响转子稳定性，给振动抑制带来困难，需进行精细的控制器设计。控制器中，对不同振动采用不同方法抑制：陀螺效应依靠交叉反馈控制; 弯曲共振、分子泵叶轮叶片颤振及机电耦合模态振动，依靠各种不同的控制器传递函数相位方法。试验验证了方法的有效性，分子泵平稳升速到24000 r/ min，样机达到了设计真空性能指标。

  在分子泵转子设计中，转子一阶弯曲模态频率已经尽量保持远离转子da工作转动频率即400 Hz,但其对转子振动的影响依然不能忽略，尤其在高速运行时，陀螺效应造成一阶弯曲振动反向涡动模态频率下降明显。Leybold莱宝微型泵-单级油封旋片泵S1,5是单级油封式旋片泵，带气镇。通常认为传统轴承支承的转子，反向涡动很难被激发，但对电磁轴承转子系统，经常可观察到反向涡动被激发出来。因此，在转子工作于整个转速范围内时，均应为弯曲模态振动提供足够阻尼，避免一阶弯曲正向或反向涡动被激发。事实上，如果电磁轴承振动控制不考虑弯曲模态的阻尼,转子静态悬浮时就会把转子弯曲振动激发出来。

广州潽拓——{精}莱宝真空泵

广州潽拓光电

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德国莱宝泵维修主要的更好部件如下：

1、莱宝真空泵密封套件，真空泵长期使用后密封套件因为泵体的拆后而会损坏

2、莱宝真空泵油雾分离器，真空泵喷油、冒出黑烟实际上就是真空泵油雾分离器己经失效，无法达到分离泵油跟气体的目的，从而从真空泵排气口里喷出少量的真空泵油跟大量黑烟，这也是维修保养真空泵主要换的配件之一

3、莱宝真空泵真空泵油过滤器，经常更换泵配件之一，主要用于过滤油内杂质等不明异物，达到保护真空泵的目的，如果使用不合格的真空泵油真空尖油过滤器跟油雾分离器极容易损坏，造成更大的损失。

潽拓——德国莱宝分子泵主机{精}，分子泵

Leybold turbovac 35LS 用于Leybold UL200氦检仪中，

Leybold 35LS 的图片如下：

Leybold 35LS 分子泵还有1200Hz,对应转速为72000rpm

     维修的leybold UL200氦质谱检漏仪内部所用的Leybold 35LS分子泵对应转速为1050Hz，即63000转／分钟