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广州潽拓光电——***维修Edwards EXT255H 涡轮分子泵

 涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业，由从事多年真空系统开发，真空设备技术研发，维修工程师，工程师组成的一支技术实力***，充满活力的高素质团队。涡轮分子泵广泛用于高能加速qi、可控热核反应装置、重粒子加速qi以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。 

优点：

  大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。广州潽拓光电——EDWARDSEXT250HI分子泵维修保养EdwardsEXT涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。

快速维修/销售/保养-英国爱德华Edwards 分子泵及分子泵电源:

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气体输送能力强

  大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。不同的真空元件和不同的材料都有自己特殊的清洁方法，常见的真空部件清洁方法如下。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。

分子泵清洗的方法如下：

1．关掉分子泵，进行排气。

2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。

3．拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等

4．拆掉润滑的油包

5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。

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