PFEIFFER普发控制器***出众,广州潽拓光电

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爱德华涡轮分子泵 nEXT300

技术nEXT 采用新技术后，使得泵可以在现场进行维修。条件允许时，只需使用*少量的***工具，在 5 分钟内就能现场完成油润滑的临时更换。用户可以使用基本的车间工具和 爱德华 的工具套件，对泵进行**限度的拆卸，在 10 分钟内完成轴承和润滑油的维护。

nEXT 泵可以告诉用户何时需要维护以及需要何种程度的干预。维护需求会通过泵上闪烁的 LED 序列以及串行通信通知提示用户。

灵活性同样很重要，因为这些简单的维护可以由*终用户执行，或者由 爱德华 现场维修技术人员在现场执行，也可以将泵返回给 爱德华 维修中心。

如果需要，通过使用远程诊断，用户还可以核查泵以确定下次维护的时间，以便安排主动预防性维护。PfeifferHiPace80抽速可达到71l/s***涡轮分子泵。特性与优势*新的转子设计提高了性能，可以实现***的抽速和压缩比*终用户可以在极短的时间内完成***的维修，无需复杂的工具或大卸...您就可以完成！设计紧凑，性能***，可以实现***系统化与 爱德华 TIC 涡轮和仪器控制器兼容意味着您可以添加多达 3 个真空计而不需要额外的真空计控制器符合 RoHS 并获得 CSA/UL 认可

技术参数

ShimadzuTMP-V2304LM岛津磁悬浮分子泵

参数如下：

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Shimadzu TMP-V2304LM岛津磁悬浮分子泵维修，日本岛津 TMP-V2304LM磁悬浮涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统，无需使用油润滑，在运转过程当中，无任何摩擦，是真正做到完全无油、免维护、全*位安装的涡轮分子泵，Shimadzu TMP-V2304LM分子泵进气法兰口VG250/ISO250B，出气法兰口KF40，抽速可达到2100 L/s，转速为33700 rpm，日本岛津磁悬浮TMP-V2304LM分子泵自带控制器。在这种情况下，油润滑球轴承安装在前真空侧上轴的端部，且高真空侧配备了免维护和无磨损的永磁轴承，其将转子置于径向中心位置。

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SHIMADZU电源一体型分子泵特点：

? 强化了抽气性能

? 无需外接电源

? 外形紧

? 节省能源

?

无需安装电缆线或安装控制架

分子泵(Turbo Molecular

Pump)主要用于为制造太阳能电池和半导体提供不可或缺的真空环境。SHIMADZU岛津分子泵有着世界高水准的排气能力，并且有一系列的产品可以满足不同的太阳能电池模组和硅晶片的工艺需求。

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德国 Pfeiffer Vacuum 普发真空

分子泵 Hipace 80/TMH 071 系列的工作原理

轴承

通过两个球轴承安装涡轮分子泵转子轴需要将两个球轴承都 安排在前真空侧，因为轴承中

有润滑剂。这导致转子凭借其 较大质量产生的单边（悬臂）支撑。

混合轴承支撑就转子动力学而言在这方面有优势。混合轴承zhi定在一个单一泵中使用两个

轴承的概念。在这种情况下，油润滑球轴承安装在前真空侧上轴的端部，且高真空侧配备 了

免维护和无磨损的永磁轴承，其将转子置于径向中心位 置。润滑前真空侧轴承的油包含在

工作液储罐中。小型安全 轴承布置在磁轴承转子内。在正常工作期间，轴颈在该轴承 内自

由旋转。如果存在强劲的径向冲击，安全轴承则稳定转 子并只短时间转动。如果转子失去

平衡，轴两端的轴承将比 浮动轴承的情况下产生显著较低的轴承应力振动力。高真空 侧的

磁轴承对振动完全不敏感。因此，只有非常小的振动力 被传输到壳体上。而且，这无需悬

臂概念中较大的两个轴 承，其较大尺寸限制了转速。

法兰直径为 100 mm 的大型泵另外使用被称为 5 轴磁轴承的 轴承 [24]。通过距离传感器

和电磁体实现的数字电气控制使 转子悬浮。涡轮转子运动的自由度可连续监控并实时调整。

转子与壳体之间无机械接触将泵产生的振动保持在低水平。 转子围绕其自身的惯性轴线自

转。由于一侧涂层或腐蚀（如 在等离子刻蚀中）产生的任何不平衡可在广泛的限制内抵 消。

除前级真空侧无油外，无磨损和免维护是另一个优势。在停 电的情况下，通过泵的旋转能

量为磁轴承供电。这使得停电 可以很容易地桥接数分钟。如果停电持续时间较长，通过使 用

集成的安全轴承，转子将以非常低的速度安全停止。在系统故障期间，安全轴承关闭转子，

以避免对泵造成任何损 坏。

电动机/驱动器

能够提供旋转频率高达 1,500 Hz (90,000 rpm) 的无刷直流电 动机用于驱动转子。这使得叶

片速度是泵送气体所必需的。

如今，驱动器通常都是直接连接到泵上。电源是 24、48 或 72 伏的直流电，通过外部电源

包或集成在泵的电子单元中的 电源包产生电流。