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真空泵排气口冒烟是怎么回事？

旋片真空泵在使用一定时间后，由于没有做好保养工作，在排气口处出现冒油烟，很多客人不清楚原因。希望能对您有所帮助。

1、真空泵排气过滤器，是一个属于耗材料类配件，在真空泵里面起到油气分离作用，可以防止真空泵油随着尾气排出真空泵泵体，把过滤下来的真空泵油沉淀下来回流到油箱里，当排气过滤器失效时，排气过滤器就起不到过滤作用，就会把真空泵油随着尾气排出，具体表现就是在排气口有白色或都蓝色油烟。一般建议客户使用3-6个月需要更换，污染比较严重行业，更换时间会缩短。·我司紧贴国内外真空行业，市场信息，引进国外及原厂的技术支持，并与国内相关学术单位密切合作，同时捅有德国与日本的在线高速动平衡设备，能根据不同的客户要求制定不同的真空获得方案，诚意为客户选取合适的产品，务求令客户节省成本，提高竞争力。

2、真空泵油积碳，发黑，像油泥一样。要把真空泵油更换掉，将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。旋注油塞和放油塞，放出污油。断续启动电机 4~6 ，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油 200~300CC 。断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样经 2~3 次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。VarianTURBOPumpControllersV-60常见用于较老款半导体设备上。加油特别注意： 油加的过多，减少油的加入量; 进气口长时间抽大气，应加以避免。

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刻蚀设备刻蚀是用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要材料的过程。刻蚀的基本目标是在涂胶的硅片上正确地复付制掩膜图形。现代化的干法刻蚀设备包括复杂的机械、电气和真空系统，同时配有自动化的刻蚀终点检测和控制装置。刻蚀应用工况复杂，清洁性差，充入特种气体种类繁多，因此需要特殊处理的干泵和磁悬浮分子泵。TURBOVAC361及361C型号名称中有字母“C”的TURBOVAC泵配有吹扫气装置。 varian真空分子泵报价

发展真空技术，助力半导体行业我国是世界大的半导体消费市场，但产业链整体价值水平较低，尤其是关键材料与***设备和零部件方面，存在较大国外品牌依赖。例如，薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程***部件——磁悬浮分子泵，长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题，中科科仪积极响应国家需求，承担科技部《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目，***多项关键技术，于2011年成功研制国内第i一台磁悬浮分子泵，打破国外产品垄断。AgilentTorr-304FS安捷伦涡轮分子泵分子泵二种法兰口（IOS100/IOS160）分别抽速可达到250l/s/280l/s，转速为60000rpm，对应的控制器为：AgilentTorr-304FS-AG。varian真空分子泵报价