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真空泵的使用注意事项与故障处理

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。接下来广州潽拓光电为你介绍全真空泵维修方法!

一、真空泵的维修

旋片真空泵长期使用后，会出现真空度下降、密封处漏油、真空泵转动停滞、甚至发生“卡死”、油污染严重、真空泵腔生锈、旋片有大的撞击声、真空泵腔内落入硬物划伤真空泵腔、造成真空泵过热等异常现象，此时必须对真空泵进行拆洗。其步骤为，

1、切断电源，将真空泵从真空系统上卸下，

2、用重力法或加压法将脏油放出并收集起来，以免污染环境;

3、卸下皮带、皮带轮积键(双级旋片真空泵包含皮带);

4、先拆低真空端，取下后端盖，再取出低真空转子、旋片及弹簧等;

5、将前端盖拆下，取出高真空转子、旋片及弹簧等;

6、取下视镜、排气阀、排气盖等;

7、将所拆下的金属零件用qi油***清洗干净，并用酒精脱水。橡胶零件可用15%的化钠水溶掖煮沸去油。对有毛刺或生锈的零部件.可用油石或金相砂纸轻轻地研磨，以去除锈斑和毛刺。清洗后的零部件必须烘干;

8、装配时，先装后级，将弹簧、旋片托起装入转子内，然后放入真空泵腔.装上前端盖.再装定位销.均匀对称地拧紧螺钉。装配后.应保证转动灵活、均匀。装好前级转子及后端盖后，再装排气阀(排气阀片应贴紧阀座)及其它件，如气镇装置等。

维修真空泵注意事项：

1、应定期检查油位是否低干油标线。如低干油标线，应及时加油，杏则.会影响真空泵的真空度。油量也不宜过多，否则会引起起动困难，喷油等问题。

2、应经常注意真空泵运转是否正常，有无特殊声响，机是否超负荷运转，电机积真空泵的温开是否过高等。

3、用水冷却的真空泵，应防止冷却水中断，真空泵温不得超过70度。若环境温度低干5度，停机后应将真空泵内冷却水放净，以防真空泵体冻裂。

4、真空泵应经带保持清洁，真空泵上不得放置其它物件。

5、注意皮带松紧是杏适当.必要时应调整或更换。

6、应每年定期更换了1~3次真空泵油)。真空熔炼用的机械真空泵，每月可能换油多坎。这是由干真空泵在使用过程中，真空泵油会被灰、水分或其它脏物污染或皂、碳化，影晌真空泵的性能，因此，需要根据具体情况定期换油。

  我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等***分子泵,真空泵,真空计***维修保养/销售等业务。（3）旋片式真空泵的内部设计旋片泵的油箱有作隔层处理，同时在排气中上设置油气分离装置，因此无喷油并减少油雾污染。

广州潽拓光电科技——nEXT300D分子泵

nEXT300D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO100 或 CF100 入口法兰，具备 300ls-1 的 N2抽速。nEXT 泵将我们的成熟轴承技术（油润滑的陶瓷下方轴承和干燥的永磁性上方轴承）以及采用新分子分级技术的改进转子设计结合在一起，以提供改进的抽速和压缩比，同时提供真正的用户可维护性。爱德华STP-H301C分子泵维修EdwardsSTP系列磁悬浮涡轮分子泵用于电子显微镜和半导体应用。

广州潽拓—{精}爱德华EDWARDS RV8真空泵

真空泵安装指导

1、泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。

2、泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保泵运转平稳，振动小。

3、泵与系统的连接管道应密封可靠，对小泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应清除管道中焊渣，严禁焊渣进入泵腔。）

4、在连接管路中，用户可在泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查泵的极限压力。

6、泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认泵转向符合规定方向方可投入使用，以防泵反转喷油。（转向按防护罩指示方向）

7、对于有冷却水的泵，按规定接通冷却水。

8、如泵口安装电磁阀时，阀与泵应同时动作。

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爱德华 RV8 油封式旋片真空泵 Edwards真空泵 RV8

Edwards真空泵产品型号及附件:

EDWARDS爱德华EM 系列 E1M5, E1M8, E1M12, E1M18, E1M30,E1M40, E1M80, E1M175, E1M275, E2M0.7, E2M1, E2M1.5, E2M2, E2M5, E2M8, E2M12,E2M18 , E2M28, E2M30, E2M40, E2M80, E2M175, E2M275

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英国edwards爱德华rv8真空泵的概述

　　Edwards RV 泵已经成为一次泵科学应用方面的行业标准。 RV 泵独具特色，能够以限真空提供高吞吐量或低吞吐量。 这一特点以及噪音极低的优势使之成为广泛适用于各种应用(包括 GCMS 和其他小工作台式应用)的理想产品。