爱德华进口分子泵维修店常用指南「潽拓光电」

我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等***分子泵,真空泵,真空计***维修保养/销售等业务。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。

旋片真空泵的清洗工艺

为了防止系统中任何容易大量放气的物质并去除高蒸气压的物质，必须进行***的处理。不同的真空元件和不同的材料都有自己特殊的清洁方法，常见的真空部件清洁方法如下。

旋片真空泵的清洗

为了清洁旋片真空泵而没有明显的故障，泵一般不拆卸，只有旧油和污垢从排油孔排出，新的真空泵油（用于清洗）从带漏斗的进气口。手动缓慢旋转泵轮数次后，释放油。通过重复相同的方法一次或两次，新油可以正式使用。近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵气体输送能力强大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。没有必要清洁新的旋片真空泵，但有必要检查管道入口是否干净，没有异物，并擦去表面腻子。

我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等***分子泵,真空泵,真空计***维修保养/销售等业务。三、油封机械真空泵的应用油封式旋转机械真空泵按照结构型式可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式四种。

广州潽拓光电——***维修Edwards EXT 70H分子泵

Edwards EXT 70H分子泵主要用于分析仪器中。 爱德华真空的EXT70H分子泵是专为超高真空设计的，

爱德华的Edwards EXT70H分子泵是专为超高真空设计的，其内部涡轮转子是专门为高真空

开发的，层数较普通的 EXT70要多很多，Edwards EXT70H 24V 复合分子泵，是专为超高真空设计的。

我司针常用的Edwards EXT70H 24V分子维修保养内容如下：

＊超声波**清洗转/定子叶片及腔体并烘干＊更换了全套***陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品＊马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量＊根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.１6标准＊测试0-90000rpm启动时间<3分钟*测试极限真空值<1.0*10－7mbar*持续模拟生产现场测试24小时＊0-20KHz震动频谱加速度分析

  我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等***分子泵,真空泵,真空计***维修保养/销售等业务。90kw电源连接器iecen60320c19重量40kg/88lbs噪音50hz时57db(a)油容量-***da1。

广州潽拓光电——出售Edwards AIM真空规

Edwards有源倒磁控管真空规（AIM）在一个紧凑的有源装置中内置了真空探头和控制器。从科学仪器到工业流程的多种应用场合，均已证明该真空规坚固可靠。

AIM真空规具有线性输出，易于与计算机或PLC集成使用。

应用范围：

-普通真空

-镀膜机

-真空炉

-科学仪器

-半导体

性能特点：

驱动电路已嵌在真空探头内，简化了系统设计并能节省宝贵的机架空间

低输出阻抗和集成的法拉第屏蔽，具有很强的抗噪性，允许使用长电缆传输（可chang达100m）

低磁场型XL适用于灵敏应用，如质谱分析和电子显微镜

管体可更换，允许快速更换管件而无需预校准

通过CSA、C/US认可应用范围普通真空镀膜机真空炉科学仪器半导体

广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业，由从事多年真空系统开发，真空设备技术研发，维修工程师，工程师组成的一支技术实力***，充满活力的高素质团队。

广州潽拓光电——出售Edwards-8爱德华抽真空泵

特点

(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；

(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；

(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；

(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；

(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；

(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。

（2)泵的传动方式

真空泵的两个转子是通过一对齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。（4）旋片泵泵腔内无需油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。

这种传动方式的zui大缺点是：

a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；

b.整体结构不匀称，泵的重xin偏向电动机和齿轮箱一侧