VARIAN分子泵工厂结构图「潽拓光电」

我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等***分子泵,真空泵,真空计***维修保养/销售等业务。DS旋片泵符合欧盟认证(CE)和有害物质限制(RoHS)要求，并且所有泵均通过UL和加拿大标准协会认证(CSA)认证。

广州潽拓——Agilent TV903sys安捷伦分子泵及提供***维修技术服务

真空泵排气口冒烟是怎么回事？

旋片真空泵在使用一定时间后，由于没有做好保养工作，在排气口处出现冒油烟，很多客人不清楚原因。希望能对您有所帮助。

1、真空泵排气过滤器，是一个属于耗材料类配件，在真空泵里面起到油气分离作用，可以防止真空泵油随着尾气排出真空泵泵体，把过滤下来的真空泵油沉淀下来回流到油箱里，当排气过滤器失效时，排气过滤器就起不到过滤作用，就会把真空泵油随着尾气排出，具体表现就是在排气口有白色或都蓝色油烟。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。一般建议客户使用3-6个月需要更换，污染比较严重行业，更换时间会缩短。

2、真空泵油积碳，发黑，像油泥一样。要把真空泵油更换掉，将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。旋注油塞和放油塞，放出污油。断续启动电机 4~6 ，使各真空小室内的油全部排出。性能特征：工作压力低至10-3mbar工作温度低低压下返流***xiao在10-2mbar低压范围内具有良好的抽气速率和气镇效果。然后从各抽气管加入干净的真空泵油 200~300CC 。断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样经 2~3 次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。加油特别注意： 油加的过多，减少油的加入量; 进气口长时间抽大气，应加以避免。

我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等***分子泵,真空泵,真空计***维修保养/销售等业务。AdixenATH系列就是Adixen改进的涡轮分子泵，采用封闭式轴承，转速提供到45000rpm,且采用多层导流的模式，有效避免碎泵的发生。

广州潽拓光电——维修adixen ATH1600M磁悬浮分子泵

   阿尔卡特分子泵产品，其大部分分子泵转速在27000rpm,轴承为开放式轴承，需定期添加润滑油脂，广州潽拓公司使用原厂配件维修，保修周期一般为三个月，并免费提供技术服务。

Adixen ATH系列就是Adixen改进的涡轮分子泵，采用封闭式轴承，转速提供到45000rpm,且采用多层导流的模式，有效避免碎泵的发生。

分子泵转速设计为39000rpm,adixen ATH1600M分子泵采用Adixen ACT 1600M分子泵电源

潽拓——VARIAN分子泵工厂，分子泵

分子泵在半导体行业的应用

半导体行业是***信息化产业的基石，无论从科技或是经济发展的角度来看，重要性都是不言而喻的。5G、人工智能、大数据、物联网等新兴技术的发展源源不断地给半导体行业注入崭新活力。通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。真空技术作为一门与应用科学紧密结合的现代基础科学，在半导体行业有着广泛的应用。其中，分子泵作为很多半导体制造设备的零部件之一，广泛应用于IC生产制造的各个工艺。那你还知道分子泵在半导体行业中有哪些应用吗？想了解更多可以关注我们广州潽拓光电科技有限公司 VARIAN分子泵工厂

薄膜沉积设备薄膜沉积指在晶圆表面生成多种薄膜，这些薄膜可以是绝缘体、半导体或导体。它们由不同的材料组成，是使用多种工艺生长或沉积的。经过不断的努力，使其有着融洽和谐的工作环境、积极进取，秉承着创新为核，技术为本的研发理念，并向着国内***技术的目标迈进。通用的沉积技术有化学气相淀积（CVD）、蒸发和溅射PVD。一般来说，其中还要夹杂低温（≤500℃）退火工艺等热处理工艺，用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。设备运行过程中需要高洁净的真空环境，一般采用以磁悬浮分子泵为主的无油真空系统。 VARIAN分子泵工厂