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发布时间:2021-11-19 23:37:00 作者:潽拓光电
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广州潽拓光电科技——
Edwards 英国爱德华nEXT200200D质谱仪用设备泵维修,Edwards爱德华nEXT200200D分流分子泵出气法兰口DN25,Edwards nEXT200200D双入口能同时抽取二个腔体的真空,分别抽速可达到200 L/s /165 L/s
参数说明书:
品牌:爱德华 认证:CCC 加工定制:否
测量范围:0 控温范围:55 功率:24V
重量:9KG 型号:nEXT200200D 规格:立式
广州潽拓,EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。
受zhuanli保护的***泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,zui大程度地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。
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广州潽拓光电主要提供Pfeiffer(普发), Leybold(莱宝),Alcatel(阿尔卡特) ,Edwards(爱德华),Varia(瓦里安),Seiko Seik(精工),Shimadzu(岛津),Agilen(安捷伦),Osak(大阪),,ULVAC(爱发科)等的真空涡轮分子泵,复合分子泵,磁悬浮分子泵,分子泵机组,分子泵电源。
广州潽拓光电科技有限公司可提供24小时快速维修保养技术服务,欢迎咨询联系。
爱德华Edwards复合涡轮分子泵Ext75dx24VDC,二手分子泵维修保养
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上轴承为性磁悬浮轴承:无需清洁、振动小、磨损低 配有手动放气阀(可选配电磁阀,用于全自动放气)Holweck拖曳分级技术,实现高吞吐量和高前级压力差带有吹扫口,提供制程气体稀释,以保护电机和下轴承
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