潽拓普发分子泵维修主机价格合理 广州潽拓光电公司

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广州潽拓光电——BPG400 /BPG402 英福康INFICON 

INFICON皮拉尼复合真空计

产品型号：BPG400

I

半导体工艺和输送室中的压强测量

工业镀膜

一般真空测量和控制,从低至超高真空范围

优点

极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10 乇至大气压)

很好的重复性,压强范围10-8 … 10-2 毫巴均为5%

皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁

双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝

可选图形显示和现场总线接口

自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预

容易更换具有在机校准的传感元件,保证高度重复性

广州潽拓光电——BOC  EXT200HI 24V保养与维修

真空泵的保养与维修方法?：真空泵排气口冒烟;真空泵喷油、漏油;真空泵噪音超标;真空度下降;真空泵发烫等现象。?

如果真空泵问题不是很严重的情况下，可自行拆开真空泵，更换真空泵易损件之后对真空泵进行清洗组装，达到保养真空泵的目的。广州潽拓光电——PfeifferHipace80分子泵分子泵应用一：Hipace80，Hipace400用于分子束外延MBE，主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长。对真空泵正确的保养可减少真空泵维修的难度，应适当的对真空泵进行保养才能更好的使用真空泵，以下对真空泵保养问题提出几点建议：?

1、新安装真空泵应检查电机是否正转，也就是电机与泵内转子转向一致，一般电机上方标有电机正常运转方向。真空泵应安装在清洁、干净的环境里，不宜有杂物、粉尘、水源、温度过高的区域。?

2、如果真空泵有吸入杂质、粉尘、水份、化学物质等潜在危险，应该在真空泵进气口位置加装精密过滤器，如果杂质、粉尘、水份量过大，必须加装储蓄罐进行过滤，以防止粉尘以及水份化学物质等杂质进入真空泵。

3、真空泵的正常运转中，应保持泵内真空泵油不低于油标线，加油时，严禁与不同牌号、型号真空泵油混合使用。?

4、在使用完真空泵后，应对真空泵进行放，长时间停机启动真空泵前，应断续多次启动真空泵?

5、应定期更换真空泵油，一般3~6个月进行一次更换，如发现泵油乳化、碳化等情况，还应及时更换真空泵油。如果真空泵需24小时运转，必须每半年对真空泵进行一次保养维修。

广州潽拓光电

BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修，爱德华STP-iXA3306CV分子泵

BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内***的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 STPiXA3305 系列的新技术）。

BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于BOC STP-iXA3305 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。如果真空泵需24小时运转，必须每半年对真空泵进行一次保养维修。

BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势：

与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%

可以配置为运行腐蚀性制程

紧凑型设计，包括完全集成的控制器

性自传感磁力轴承系统

数字化 5 轴控制

BOC STP-iXA3306分子泵用途：

溅射

离子注入源，射束线泵送和站

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物）

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

ALCATEL阿尔卡特ATH1000M磁浮分子泵

我司对Alcatel ATH1000M分子泵维修保养内容如下：＊超声波全方面清洗转/定子叶片及腔体并烘干＊更换了全套***陶瓷轴承,及密封件等损耗品＊马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量＊根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.１6标准＊测试0-42000rpm启动时间<6分钟 *测试极限真空值<1.0*10－7mbar *持续模拟生产现场测试24小时＊0-20KHz震动频谱加速度分析＊6000-42000rpm全转速动平衡分析及校准＊Pfeiffer HLT560氦质谱检漏仪测试分子泵的渗漏率小于2.0*10－9mbar*L/s