varian真空分子泵原理莱宝真空机组「潽拓光电」

我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等***分子泵,真空泵,真空计***维修保养/销售等业务。安捷伦科技公司分布在40多个国家的42,000名员工和设施为***120多个国家的市场领*客户提供服务。

广州潽拓——Agilent TV903sys安捷伦分子泵及提供***维修技术服务

真空泵排气口冒烟是怎么回事？

旋片真空泵在使用一定时间后，由于没有做好保养工作，在排气口处出现冒油烟，很多客人不清楚原因。希望能对您有所帮助。

1、真空泵排气过滤器，是一个属于耗材料类配件，在真空泵里面起到油气分离作用，可以防止真空泵油随着尾气排出真空泵泵体，把过滤下来的真空泵油沉淀下来回流到油箱里，当排气过滤器失效时，排气过滤器就起不到过滤作用，就会把真空泵油随着尾气排出，具体表现就是在排气口有白色或都蓝色油烟。一般建议客户使用3-6个月需要更换，污染比较严重行业，更换时间会缩短。要把真空泵油更换掉，将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。

2、真空泵油积碳，发黑，像油泥一样。要把真空泵油更换掉，将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。旋注油塞和放油塞，放出污油。断续启动电机 4~6 ，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油 200~300CC 。断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样经 2~3 次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。对不同用途的分子泵（比如耐高温，耐震动，耐腐蚀）拥有丰富的设计经验和应用经验。加油特别注意： 油加的过多，减少油的加入量; 进气口长时间抽大气，应加以避免。

广州潽拓——varian真空分子泵原理{精}{精} 磁悬分子泵

   广州潽拓光电科技有限公司维修中心，成功维修了大量PVD行业分子泵TMP-V2304LM(PB 21).日本SHIMADZU岛津TMP-V2304LM(PB 21)分子泵维修实例：

广州潽拓——SHIMADZU TMP-V2304LM(PB 21) 分子泵维修展示

广州潽拓日本SHIMADZU岛津TMP-V2304LM(PB 21) 分子泵维修,TMP-V2304LM(PB 21) 分子泵保养,二手分子泵TMP-V2304LM(PB 21) ,出售TMP-V2304LM(PB 21) 二手分子泵,TMP-V2304LM(PB 21) 分子泵，***惠，数量有限，***！！！AgilentTorr-304FS安捷伦涡轮分子泵分子泵二种法兰口（IOS100/IOS160）分别抽速可达到250l/s/280l/s，转速为60000rpm，对应的控制器为：AgilentTorr-304FS-AG。

潽拓——varian真空分子泵原理，分子泵

        潽拓光电成功维修Varian Turbo-V1K-G瓦里安涡轮分子泵维修实拍图


   广州潽拓光电科技有限公司——

          Varian瓦里安Turbo-V1K-G分子泵，瓦里安涡轮分子泵维修,Varian Turbo-V1K-G瓦里安涡轮分子泵进气法兰口ISO160/ISO160-F，出气法兰口KF25，抽速可达到750 L/s ，转速为45500rpm，对应的控制器为自带的Varian  Turbo-V1K-G

Varian  TURBO Pump  意大利瓦里安分子泵:

Turbo-V81-T 、Turbo-V81-M 、Turbo-V300HT 、Turbo-V300、Turbo-V250、 Turbo-V701、 Turbo-V60、 Turbo-V70 、Turbo-V70D、Turbo-V70LP 、Turbo-V80A 、Turbo-V150HT 、 Turbo-V450A、Turbo-V550、Turbo-V700HT 、Turbo-V1000A、 Turbo-V1000HT 、Turbo-V1800、Turbo-V1800A 、Turbo-V2000HT、Turbo-V2000、Turbo-V141 、Turbo-V301 、Turbo-V551、Turbo-V801、 Turbo-V1001 、Turbo-V2K-G、Turbo-V3K-G 、 Turbo-V2300、Turbo-V200、Turbo-V200HT、Turbo-V200A、 Turbo-V6000

   潽拓光电成功维修Varian Turbo-V1K-G瓦里安涡轮分子泵维修实拍图

光刻机光刻机是生产大规模集成电路的***设备，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，世界上只有少数厂家掌握，因此光刻机价格昂贵。光刻机光刻过程必须在高真空环境中实现，原因是极紫外光很娇贵，在空气中容易损耗。同时，在光刻过程中，设备的动作时间误差以皮秒计，这对磁悬浮分子泵的振动值要求极高。该泵的双级设计使其可以在较低工作温度下使用，并***da限度减少低压强造成油蒸汽的回流现象，同时在10-2mbar的低压范围内具有良好的抽气速率和气镇效果。 varian真空分子泵原理