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Agilent TwisTorr 304 FS Turbo pump 安捷伦Varian TwistTorr 304 FS涡轮泵采用6英寸conflat法兰，抽速为255 l / s氮气，KF-16前级法兰（KF-25可选），环境工作温度为5°C至+ 35°C 。这些304 FS泵的启动时间为3分钟，转速为60000转/分，推荐使用SH-110或DS-102的前级泵。当条件为环境空气温度为5-35°C或小流量水冷时，冷却要求 为强制空气：50 l / h（0.89 GPM），水温在+ 15°C至+ 30°C之间水压为45至75 psi。广州潽拓——AgilentTV903sys安捷伦分子泵及提供***维修技术服务真空泵排气口冒烟是怎么回事。

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Varian TV301分子泵有四种规格，分别为

1. Varian TV 301 ISO100-K

3.Varian TV301 Cf100

4.Varian TV301 CF160

发展真空技术，助力半导体行业我国是世界大的半导体消费市场，但产业链整体价值水平较低，尤其是关键材料与***设备和零部件方面，存在较大国外品牌依赖。例如，薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程***部件——磁悬浮分子泵，长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题，中科科仪积极响应国家需求，承担科技部《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目，***多项关键技术，于2011年成功研制国内第i一台磁悬浮分子泵，打破国外产品垄断。AgilentTorr-304FS安捷伦涡轮分子泵分子泵二种法兰口（IOS100/IOS160）分别抽速可达到250l/s/280l/s，转速为60000rpm，对应的控制器为：AgilentTorr-304FS-AG。VARIAN分子泵报价