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广州潽拓光电——BPG400 /BPG402 英福康INFICON 

INFICON皮拉尼复合真空计

产品型号：BPG400

I

半导体工艺和输送室中的压强测量

工业镀膜

一般真空测量和控制,从低至超高真空范围

优点

极宽的测量范围从 5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10 乇至大气压)

很好的重复性,压强范围10-8 … 10-2 毫巴均为5%

皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁

双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝

可选图形显示和现场总线接口

自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预

容易更换具有在机校准的传感元件,保证高度重复性

广州潽拓光电——VARIAN分子泵维修Turbo-V 1K-G维修图片

agilent Turbo-V 1K-G涡轮分子泵功能特点：

MTTF 超过 200000 小时

转子设计显著降低重量和机械应力

拥有***的转子轴配合技术可大大降低转子拉伸应力

市场上仅有的真正“一体化”系统

无油、耐用、可靠

广州潽拓光电——英福康INFICON MPG400

瑞士INFICON的MPG400冷阴极和皮拉尼复合真空计有MPG400和MPG402个型号，测量范围从?5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压)。将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内，大大地降低了安装，设置和集成的复杂性。广州潽拓光电——英福康INFICONMPG400瑞士INFICON的MPG400冷阴极和皮拉尼复合真空计有MPG400和MPG402个型号，测量范围从。

MPG400冷阴极和皮拉尼复合真空计益处：

■复合真空规—冷阴极与皮拉尼

■宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压

■无可烧毁的灯丝

■***的引燃功能

■易清洗

■FPM或金属密封的馈入件

■高压加上时LED指示灯亮

■对数模拟输出讯号

■高真空压强监测

■蒸发和溅射系统的压强测量

■一般真空测量和控制，从中至高真空范围

MPG400冷阴极和皮拉尼复合真空计选型指南：

MPG400 FPM sealed零件号说明351-010351-011351-012MPG400 真空计MPG400 DN 40 ISO-KFMPG400 DN 40 CF-FMPG401 metal-sealed零件号说明351-020351-021351-022351-023MPG401 DN 25 ISO-KFMPG401 DN 40 ISO-KFMPG401 DN 40 CF-F磁屏蔽