Edwards真空分子泵厂家给您好的建议 广州潽拓光电科技

广州潽拓——{精}，分子泵

     EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修

爱德华EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的***单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。

潽拓——Edwards真空分子泵厂家，分子泵

       Edwards PVMK是一种快动式直线或直角杠操作阀。杠杠与自润滑的塑料凸轮活塞相连，通过PTFE轴承促动阀杠和阀板。阀板O型圈槽进行排气以避免气爆。阀设计为可在10-9mbar/8*10-10 Torr以上和2100 mabr/1575 Torr (30 psi)以下的压力范围内运行。

爱德华兹pv40mk真空停止阀

Edwards全磁悬浮涡轮分子泵STP-iS2207 爱德华分子泵

技术参数：

入口法兰尺寸                                VG200/ISO200F/ICF253/ISO250F/VG250/ICF305

前级抽气口尺寸                             KF40

抽速                                              N2/Ar2200/1900 ls-1

压缩比                                           N2/H2>107

极限压力                                        10-6 Pa (10-8 Torr)

允许的前级压力                              200 Pa

大气流 N2 *（仅水冷）                3200 sccm

                                                    (5.41 Pam3s-1)

大气流 Ar *（仅水冷）                1000 sccm

                                                    (1.69 Pam3s-1)

额定速度                                        36500 rpm

运转到 90% 额定速度的时间            <8 分钟

固定位置                                       任何方向

输入电压                                        200-240 V

大输入功率（不带 TMS）              750 VA

重量                                               45 kg

广州潽拓成功维修Edwards nEXT200200D英国爱德华分子泵-质谱仪设备泵

广州潽拓维修Edwads爱德华全系列分子泵

     质谱仪设备泵-广州潽拓成功维修Edwards爱德华nEXT200200D分子,广州潽拓分子泵维修团队，成功维修了用于质谱仪设备上的Edwards爱德华nEXT200200D分子泵，Edwards 爱德华nEXT200200D是特殊zhuan用分流的分子泵，抽速可达到200 L/s。