广州Agilent分子泵维修厂产品介绍 广州潽拓光电公司

广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修厂

抗振动测试   通过对一批泵（处于运行和非运行条件下）进行一系列测试，证明对外部源产生振动的耐受性。在 105 分钟的振动周期中，全转速和不运行的每个泵在垂、水平、倒立方向上受到 0.5–2 g 加速度水平的振动。该测试证实了泵的稳定性以及耐振性，因为未观察到转子机械接触或泵运行状态的改变，且泵不平衡性仍然远低于阈值。温度测试   将泵置于 –40 °C 至 +70 °C（处于非运行状态）以及 0 °C至 40 °C（处于运行状态）下暴露 86 小时。对每个泵的不平衡性和是否可正常操作验证 11 次，结果显示仅存在的变异，远低于阈值。温度测试证实了泵在各种预期运行和非运行温度条件下的稳定性。

殊润滑剂润滑轴承

使用涡轮分子泵的高真空环境对润滑油或润滑脂非常敏感，因为在高真空环境下，润滑油或润滑脂非常容易汽化。一方面，这些油脂类的蒸气会形成一种气源，影响系统的真空度和纯净度；另一方面，这些蒸气进入到真空腔体后，会冷凝附着在其它零件上，影响高真空系统内相关设备的工作。

TwisTorr 704 FS 采用安捷伦与轴承厂家合作研发的轴承，能够任意方向安装；并且，由于其使用的特殊润滑剂饱和蒸汽压极低，正常使用时几乎没有损耗，使得该泵在整个寿命周期内都无需进行加注润滑脂、更换油棉等维护。

改进的转子结构

TwisTorr 305 Q 系列分子泵拥有的转子结构：比其他 305 分子泵增加了一级涡轮叶片，并采用了与其他 305 分子泵不同的 MacroTorr 牵引级。MacroTorr 牵引级是专为大气载而设计的，它拥有更宽大的气体通道，解决了其他牵引级结构在高负载长期运行时发热集中的问题，可以承受持续的大气体流量，并可将前级耐压提高至 16 mbar。

国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa，抽速从20m3/h~500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1%，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。

　　干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、、食品等范围广泛的行业，市场上超过50%的产品是进口品牌，尤其在半导体行业中，绝大多数的真空泵均为国外品牌，国产真空泵主要应用于化工等行业。

分子泵故障：　　1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？

　　原因：附近有光照或其他热源

　　解决方法：避免光照或热源

　　2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？

　　原因：冷却不良，负载太大

　　解决方法：检查冷却系统，检查真空系统

　　3、分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？

　　原因：负载太大，系统真空度不够

　　解决方法：检查系统

目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点,但其制造技术为国外掌握,我国尚处于起步阶段,市场对于干式真空泵有迫切的需求。

广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵维修厂分子泵安装维修注意事项

电缆安装注意事项

　　①、对正槽口插入

　　②、用螺母拧紧，边插边拧

　　③、检查到位

振动隔离、冲击防护

　　1分子泵振动，可直接接于被抽系统。

　　对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器，以便可能的减少振动。

　　2冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑

　　机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）

　　气体振动（气量突变、压强突变）

　　意外振动（掉入异物、碰撞等）

　　注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。

安捷伦推出GC-MS 5973和5975分析仪器高的无油真空解决方案——涡旋式无油干泵IDP-3，在客户现场就可实现。

现在使用GC-MS分子泵系统的分析仪器的客户，可以将您的真空泵升级为无油真空泵IDP-3，来改善操作环境，降低使用成本，消除更换润滑油和处置废油所带来的一切烦恼。