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发布时间:2022-03-10 11:39:00 作者:潽拓光电
潽拓——广州Agilent分子泵服务商,分子泵
【广州出售】Agilent TPS-compact高真空分子泵组
产品特性:
- 快速抽真空、外形紧凑、干式、耐用的系统
- 新一代安捷伦涡轮泵 TwisTorr 84FS 和 304FS,以及干式涡旋前级泵 IDP-3
- 世界各地的电压 (90-240 V),通过 CE/CSA 认证
- 优异的极限真空度,低至 10-9 mbar
- 宽范围真空计驱动能力
- 大屏幕压力数据显示器
- RS-232 或模拟通信、压力驱动设、模拟设
- 可选配轮子
广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵服务商
目前干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段,很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐蚀技术、降低排气口温度、增大转子面积利用率等问题仍然很棘手,当抽取一些活泼气体时,由于排气温度高,安全性也是需要设计中考虑的,用在需要控制音量的场合,如何降噪也要成为研究方向。但其***的性能决定了它一定会在真空获得设备行业占主导地位,就像现在螺杆压缩机在行内的统治地位一样。
分子泵轴承为什么会烧毁
原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘
解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘
有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?
原因:防护网,前级管道
解决方法:优化系统设计
真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?
原因:油池或密封不良
解决方法:检查油池
正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形
原因:过热,负载大
解决措施:检查冷却系,检查系统
分子泵市场
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。
由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。
油池安装注意事项 ①、拆油
②、油量控制
③、油池卫生,防颗粒
④、对好、对称上紧螺钉,防止有漏
分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称,是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子,支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷,正确的使用和及时的保养,对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。
许多设备在工作时都会产生磁场,比如,家用电冰箱的磁场强度约有10高斯(1mT),MRI 的磁场强度甚至会高达 3T;尽管可以采取屏蔽等措施,仍然可能会有外漏的杂散磁场,对工作在附近的分子泵产生不好的影响。
MACHINA中应用的真空产品
MACHINA 工作时需要稳定的真空环境,以避免高速粒子束和残留气体分子之间的任何相互作用,该项目设计团队选择了安捷伦的涡轮分子泵作为主泵。安捷伦 TwisTorr 系列涡轮分子泵轻巧紧凑,可以任意角度安装,而且其采用的 AFS 悬浮轴承技术可以补偿轻微的系统振动;对于一个紧凑便携的系统而言,这些特点至关重要。
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