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发布时间:2022-03-23 02:40:00 作者:潽拓光电
广州潽拓光电科技有限公司--ULVAC-UTM800FW分子泵维修;
由于磁悬浮轴承技术具有无摩擦、率、高精度、长寿命、低噪音、无油污等突出优点,一旦实现产业化,将成为能源、节能减排、真空机械等重大战略领域的技术。 针对这一科技创新成果,在磁悬浮分子泵领域打破国外的技术垄断,提高了国内真空分子泵的技术水平,推动分子泵产品向应用发展,同时也为磁悬浮轴承的工业化进展开拓探索一条技术开发路线,为进一步推广磁悬浮轴承大规模应用提供了实际经验。
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为: (1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口,分子泵。 (2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。分子泵牵引分子泵是气体分子与高速转动的转子相碰撞而获得运动的动能,被送到出口的一种动量传输泵。它的特点是起动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸汽,特别适于抽除较重的气体。
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市场主要磁悬浮分子泵生产商包括真空、Atlas(Edwards&Leybold)、大阪真空机器制造所、和等,按收入计,2021年大厂商占有大约%的市场份额。从产品泵速方面来看,低于1500升/秒占有重要地位,按收入计,2021年市场份额为%,预计2028年份额将达到%。同时就应用来看,半导体行业在2028年份额大约是%,未来几年CAGR大约为%。
根据不同产品泵速,磁悬浮分子泵细分为:
低于1500升/秒
1500到3000升/秒
高于3000升/秒
根据不同应用,本文重点关注以下领域:
半导体行业
光伏行业
镀膜行业
其他
涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面:
(1)抽速与转速的关系抽速与转速之间的关系大致为S(4-67)。其中:g是由几何形状决定的常数;u是活动刀片的转速。随着速度的增加,泵送速度比直线略慢。这可以通过在抽速较高时对进气管电导率的限制来解释。根据(4-66),随着S1的增加,S将偏离直线。
磁场屏蔽出现的问题
旋转的转子在磁场中产生涡电流,将使转子发热,将产生如下问题:①、转子与定子间隙越来越小,造成碎片;②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁;③、由于发热会减弱铝材料的强度,造成碎泵;④、转子发热,改变转子和轴的相对位置,造成碎泵。分子泵在磁场中运转时,径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上,大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。
分子泵启动的条件:①、启动条件:连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度②、启动时间:同时启动——小系统,防前级泵油上返。延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强P=200Pa时,启动分子泵。从逆扩散型检漏仪的检漏过程出发,通过实验讨论分子泵转速对氦质谱检漏仪检测结果的影响,并分析产生这种结果的原因。
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵是获得高真空和超高真空的关键设备之一。它被广泛应用于电子工业、表面工程、核能工业、等离子体技术、薄膜工程等工业领域和研究部门。它操作简单、启动时间短,在分子流区域内对各种气体的有效抽速几乎不变,对分子量高的气体压缩比高,可以获得清洁无油的高真空和超高真空环境。
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