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   对使用过的安捷伦扩散泵做过保养的客户都会有一种印象，与别的扩散泵经常会结满黑黑的油垢不同，安捷伦的扩散泵喷塔往往在使用好几年后也非常干净，有客户甚至猜测安捷伦的扩散泵喷塔使用了类似不粘锅的涂层。其实，天河区varian分子泵，这主要是因为安捷伦扩散泵喷塔上防焦化挡板设计——在每一级喷嘴的上方，都会有一个与下面的喷塔点接触的罩子，该罩子的温度比喷塔低很多，所以，从上方滴下的油滴就不会落到高温的泵塔上焦化结垢，而是滴落在低温的挡板上，这就保证了安捷伦扩散泵的喷塔可以一直很干净，不用定期费时费力清洗

   真空泵长期使用后，多少都会出现真空泵漏油现象。如果只是小范围的渗漏，只要泵油在油视镜观察的正常范围以内，可以暂时不用管，若油位己低于正常范围了，就需要立即添加泵油才可正常使用，否则可能会使真空泵损坏。注意，油位如果太高也可导致喷油，加到油视镜三分之二处。

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分子泵是高速旋转的机械，轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废；而当轴承工作状态不良时，会有一系列的现象，如分子泵无法启动，运行噪音增大，温度或功率异常增加等，在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后，应尽快停泵，varian分子泵养护，送到维修中心进行检修。

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真空泵油积碳，发黑，像油泥一样，所以在排气口处出现冒油烟。出现这种情况时，要把真空泵油更换掉，将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。旋油塞和放油塞，varian分子泵维修要多少钱，放出污油。断续启动电机，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200~300CC 。断续启动电动机，varian分子泵保养公司，再次清洗各真空室。这样经 2~3次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。