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真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。爱发科复合分子泵保养维修

如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，爱发科分子泵UTM-800价格，好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。真空泵的价格、运转及维修费用

复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ~ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。爱发科复合分子泵保养维修

真空泵在工作中需要做到什么？

真空泵在工作中必须做到以下几点：1.运转中检查真空泵机体内有无异常响声，机体有无局部过热的现象。如有异常，说明设备有问题，立即报告调度室。2.注意观察真空表，真空表应大于0.04Mpa。注意观察机壳及轴承的温度，温度过高控制室将报警并停车。

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广州潽拓光电科技有限公司——爱发科分子泵磁悬浮涡轮泵

ULVAC

采用五轴磁浮轴承和数字控制的复合翼型涡轮分子泵。

UTM-FH、UTM-FW采用数字控制五轴磁浮轴承，实现了***、高可靠性和节能等优点。FH系列是高背压·高压缩型，提高了氢压缩比，用于轻·中间工艺，爱发科分子泵UTM-330价格，FW系列是广域·大流量型，爱发科分子泵UTM-50价格，用于高负荷工艺和中间·硬工艺。磁悬浮涡轮泵

20世纪70年代末开始，人们对真空装置提出更高的要求，既除了能获得高真空之外，还需要能够在排气之后导入各种各样的气体，海珠区爱发科分子泵，并使其在真空装置中发生化学反应。所采用的泵应能高抽速地排除这类富于反应性的气体，需要的排气能力甚至比低温冷凝泵还要高。为了满足这种日益增长的需求，涡轮分子泵逐渐推广普及。

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三、热传导加热式

它是由导热性能良好的氧化铍陶瓷为芯，内串以铼钨丝制成的加热器。陶瓷芯上先绕一层钼箔，防止钛与氧化铍直接接触起反应，避免钛的加剧消耗。钛带缠绕在钼箔上，它们之间用氧化铪-甘油浆涂敷。

这种升华器从结构上将加热源和升华源分成两部分。利用放在钛球内的螺旋钨丝，由电阻加热作热源，利用辐射加热钛球，使钛不断地升华。

真空度不足

原因分析：（1）水环工作不稳定。如果进水管发生了结垢以及进口电磁阀出现了堵塞情况的时候，泵工作水供应就会因此而出现不足，从而使得水环工作不稳定，此时泵由于偏离设计工况而运行，必然会存在出力下降的情况，进而导致系统真空度下降。应对方法是清除进水管结垢，并使进口电磁阀保持通畅。（2）进口单向阀失效。当阀片由于结垢、存在锈蚀后或发生卡涩吸不上去的时候，就会导致串气现象发生，即空气会从备用泵入口被吸入工作泵，从而使得泵功耗增加以及系统真空度发生下降。应对方法是清除阀片结垢或更换新的阀片。（3）密封不良。在轴端密封不良或密封失效的情况下，如果有外部空气被吸入了真空泵内，就会导致系统真空度发生下降情况，并伴随泵的两个进气管出现温度不相同等现象。

维修处理：检查轴端，确保密封严实。有时密封水泄漏量会发生偏大的现象，如果误判是盘根压紧力不足所导致，进一步压紧盘根后，会导致摩擦力因此而增大，进而使得轴功率升高。此时真实原因可能是工作水量过大，所以压紧盘根不能盲目。

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